Porézní vakuové sklíčivo

Semicorex porézní vakuové sklíčivo představuje řešení manipulace zaměřené na dosažení přesného a stabilního umístění oplatků ve všech fázích polovodičového zpracování. Toto vakuové sklíčivo drží vynikající přilnavost pro manipulaci s oplatkou a aplikace zarovnání substrátu, čímž se zvyšuje spolehlivost i výkon. Volba základního materiálu - SUS430, slitina hliníku 6061, hustá keramika, žula a křemíkový karbid keramika - nabízí flexibilitu uživatele při výběru optimálního materiálu podle individuálních požadavků v tepelném výkonu, mechanických vlastnostech nebo hmotnosti.

Lepší volba materiálu: Spodní část porézního vakuového učebného SIC lze změnit pomocí různých materiálů, aby vyhovovaly různým potřebám:

• SUS430: Levná možnost, která odolává Ruzu dobře pro běžné použití.
• Hliníková slitina 6061: Poskytuje kombinaci síly, lehké hmotnosti a skvělé proveditelnosti, což je dobré pro pravidelnou manipulaci s oplatkou.
• Hustá keramika oxidu hlinité (99% AL2O3): poskytuje vynikající tepelnou stabilitu a vysokou tvrdost, vhodné pro vysokoteplotní nebo přesné aplikace.
• Žula: Granite, známá svou výjimečnou rovinností a stabilitou, poskytuje nízkou tepelnou roztažku, ideální pro aplikace vyžadující vysokou přesnost.
• Silikonový karbid keramika: SIC je známá svou vysokou tepelnou vodivostí, chemickou odolností a trvanlivostí, je ideální pro vysoce výkonné prostředí, kde se setkávají s extrémními podmínkami.

Vysoká přesná rovina: Porézní vakuová sklíčička SIC zajišťuje vynikající rovinnost a přesnost se liší v závislosti na použitém materiálu. Hodnocení materiálu od nejvyšší k nejnižší přesnosti rovinnosti je:

Keramika žulové a křemíkové karbidy: Oba materiály nabízejí vysokou přesnost rovinnosti a zajišťují stabilitu oplatky i v nejnáročnějších prostředích zpracování.

Hustá alumina (99% AL2O3): Mírně menší rovinnost ve srovnání s žulou a SIC, ale stále nabízí dobrou přesnost pro obecné polovodičové aplikace.

Hliníková slitina 6061 a SUS430: Poskytují mírně nižší přesnost roviny, ale stále jsou vysoce spolehlivé pro manipulaci s oplatkou v méně náročných aplikacích.

Varianty hmotnosti pro specifické potřeby: Porézní vakuové sklíčivo umožňuje uživatelům vybrat si z různých materiálových možností založených na požadavcích na hmotnost:

Hliníková slitina 6061: Nejlehčí volba materiálu, nabízející snadnou manipulaci a přepravu.

Žula: těžší základní materiál, který poskytuje vysokou stabilitu a minimalizuje vibrace během zpracování.

Keramika karbidu křemíku: Má mírnou hmotnost a nabízí rovnováhu trvanlivosti a tepelné vodivosti.

Hustá keramika oxidu hlinitého: nejtěžší možnost, ideální pro aplikace, kde je upřednostňována stabilita a vysoká tepelná odolnost.

Vysoká trvanlivost a výkon: Porézní vakuové sklíčivo SIC je navrženo pro dlouhodobý výkon, který je schopen odolávat extrémních teplotním změnám a opotřebení spojené se polovodičovým zpracováním. Keramická varianta křemíku karbidu je obzvláště prospěšná pro vysokoteplotní a chemicky agresivní prostředí díky jeho výjimečné odolnosti vůči tepelné roztažnosti a korozi.

Nákladově efektivní řešení: Porézní vakuové sklíčivo s více materiály poskytuje nákladově efektivní řešení, které lze přizpůsobit různým rozpočtům a požadavkům na aplikace. Pro obecné aplikace jsou slitina hliníku a SUS430 nákladově efektivní a přitom stále nabízejí uspokojivý výkon. Pro náročnější prostředí poskytují žulové nebo sic keramické možnosti zvýšený výkon a trvanlivost.

Aplikace:

Porézní vakuové sklíčivo SIC se primárně používá v polovodičovém průmyslu pro manipulaci s oplatkou, včetně procesů, jako jsou:

• Napěťové a řezání oplatky
• Fotovoltaická výroba
• Růst epitaxy MOCVD a CVD
• Ionta implantace
• Oxidační a difúzní procesy

Porézní vakuové sklíčivo Semicorex vyniká pro jeho přesnost, všestrannost a trvanlivost. Ať už potřebujete lehká řešení pro obecnou manipulaci nebo pokročilé materiály pro vysoce výkonné polovodičové procesy, náš produkt nabízí širokou škálu možností, jak vyhovět vašim potřebám. Naše vakuové upínání, vyrobené s nejvyššími standardy kvality, zajišťují spolehlivé a efektivní manipulaci s oplatkou pro různé aplikace a poskytují konzistentní výsledky ve standardních i specializovaných procesech.

Pro průmyslová odvětví, kde jsou rozhodující stabilita a přesná manipulace s oplatkou, nabízí porézní vakuové učebny ideální řešení. S výběrem materiálů, vysokou přesností a vynikající trvanlivostí je to perfektní volbou pro širokou škálu polovodičových procesů.