Porézní vakuová sklíčidla SiC

Semicorex porézní SiCvakuová sklíčidlajsou nepostradatelné součástky, které lze široce využívat v pokročilých procesech výroby polovodičů, jako je ředění plátků, kostkování, broušení, leštění, fotolitografie, leptání. Jejich adsorpční platforma je konstruována s porézní SiC keramickou deskou s četnými rovnoměrně rozmístěnými póry v mikronovém měřítku. Se stálým průměrem pórů a výjimečnou rychlostí průchozích otvorů poskytují vakuová sklíčidla Semicorex porézní SiC hladkou dráhu plynu pro vakuové odsávání. Během provozu se mezi sklíčidlem a destičkou vytváří stabilní a rovnoměrný podtlak, což umožňuje vysoce účinné vakuové upnutí a uvolnění polovodičových destiček.

Výhody porézních vakuových sklíčidel Semicorex SiC 

1. Výjimečná přesnost zpracování

Polovodičové destičky zpracované v pokročilé výrobě polovodičů jsou extrémně tenké, takže i mírné ohýbání, vibrace nebo nerovnoměrné místní namáhání může vést k rozbití destičky, deformaci a snížení přesnosti v kritických procesech, jako je litografie. Semicorexporézní SiCvakuová sklíčidla jsou zpracována vysoce přesným broušením a leštěním, čímž je dosaženo dokonalé drsnosti povrchu Ra ＜ 0,1 μm. To umožňuje porézním vakuovým upínačům SiC Semicorex poskytovat optimalizovaný pracovní povrch pro vysoce přesnou výrobu polovodičů.

2. Vysoká čistota a vysoká odolnost proti korozi

Aby byly plně splněny přísné standardy čistoty polovodičů, vyrábí Semicorex porézní vakuová upínače SiC s vysoce čistými surovinami z karbidu křemíku prostřednictvím vysokoteplotního slinování. Tím je zajištěno, že sklíčidla jsou bez odlučování částic a migrujících kovových nečistot. Porézní vakuová sklíčidla Semicorex SiC využívající vynikající chemickou stabilitu SiC jsou schopna odolat drsnému koroznímu prostředí a nevytvářejí žádné další vedlejší produkty, díky čemuž jsou velmi vhodná pro vysoce kvalitní procesy výroby čistých polovodičů.

3. Vynikající odolnost a dlouhodobá stabilita

Vakuová sklíčidla používaná ve výrobních linkách musí odolat tisícům cyklů adsorpce a uvolňování a také dlouhodobým teplotním výkyvům. To klade extrémně vysoké požadavky na materiálové vlastnosti vakuových upínačů. Porézní vakuová sklíčidla Semicorex SiC se vyznačují vynikající tvrdostí materiálu a odolností proti opotřebení se stabilní tepelnou roztažností. Nevykazují žádné tečení ani zhoršení výkonu při vysokých teplotách, což výrazně prodlužuje jejich životnost a snižuje údržbu komponent a četnost výměn.