Produkty

Semicorex CVD SiC fokusový kroužek pro 2L10-506419-21 vyrobený z vysoce výkonných CVD SiC materiálů je klíčovou částí kroužku navrženou speciálně pro zařízení TEL VIGUS RK4 používaná v procesech přesného polovodičového leptání. Volba Semicorex znamená, že získáte ideální CVD SiC řešení pro dosažení přesných a jednotných výsledků leptání.

Planetové susceptory potažené SiC Semicorex jsou vysoce přesné grafitové podpůrné součásti pokryté hustým povlakem z karbidu křemíku, speciálně navržené pro pokročilé zařízení MOCVD. Mohou umožnit rovnoměrný tok plynu a distribuci tepla, čímž přispívají k vytvoření optimálního epitaxního prostředí.

Keramické waferové čluny Semicorex SiC jsou vysoce výkonná řešení z karbidu křemíku navržená tak, aby bezpečně podporovala a přepravovala wafery během nejmodernější výroby polovodičů. Díky těmto vynikajícím výhodám se dobře hodí pro přesné vysokoteplotní procesy výroby polovodičů, jako jsou oxidační, difúzní a CVD procesy.

Disky pro odvádění plynu potažené SiC Semicorex jsou nepostradatelnými grafitovými komponenty aplikovanými v polovodičovém epitaxním zařízení, zkonstruované speciálně pro regulaci toku reakčního plynu a podporu rovnoměrné distribuce plynu v reakční komoře. Vyberte si Semicorex, vyberte si optimální řešení odklonu plynu pro vysoce kvalitní epitaxní výsledky waferů.

Semicorex SiC Wafer Carrier je vyroben z vysoce čisté keramiky z karbidu křemíku pomocí technologie 3D tisku, což znamená, že dokáže během krátké doby získat vysoce cenné součásti obrábění. Předpokládá se, že Semicorex poskytuje našim zákazníkům po celém světě kvalifikované vysoce kvalitní produkty.*

Semicorex CVD SiC potažené horní broušené kroužky jsou základními prstencovými součástmi navrženými speciálně pro sofistikovaná zařízení pro plazmové leptání. Jako přední dodavatel polovodičových součástek se Semicorex zaměřuje na dodávání vysoce kvalitních, trvanlivých a ultračistých horních zemnících kroužků CVD SiC s povlakem, které našim váženým zákazníkům pomohou zlepšit provozní efektivitu a celkovou kvalitu produktu.