Semicorex RTP nosič je potažen karbidem křemíku pomocí procesu chemického napařování (CVD), který je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění. Jádrem polovodičového procesu jsou epitaxní susceptory, které jsou nejprve vystaveny depozičnímu prostředí, takže mají vysokou odolnost vůči teplu a korozi. Nosič potažený SiC má také vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.
â Vysoce čistý grafit potažený SiC
â Vynikající tepelná odolnost a chemická odolnost
â Vysoká tepelná rovnoměrnost
â Vynikající odolnost proti opotřebení
Semicorex RTP Carrier pro MOCVD Epitaxial Growth je ideální pro aplikace zpracování polovodičových plátků, včetně epitaxního růstu a zpracování zpracování plátků. Uhlíkové grafitové susceptory a křemenné kelímky zpracovává MOCVD na povrch grafitu, keramiky atd. Naše výrobky mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz