Nosič povlaku RTP/RTA SiC

Semicorex RTP/RTA SiC povlakový nosič je navržen tak, aby vydržel nejnáročnější podmínky depozičního prostředí. Díky vysoké odolnosti vůči teplu a korozi je tento produkt navržen tak, aby poskytoval optimální výkon pro epitaxní růst. Nosič potažený SiC má vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla, což zajišťuje spolehlivý výkon pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Náš nosič RTP/RTA SiC povlaku pro MOCVD epitaxní růst je dokonalým řešením pro manipulaci s plátky a zpracování epitaxního růstu. S hladkým povrchem a vysokou odolností proti chemickému čištění nabízí tento produkt spolehlivý výkon v náročných depozičních prostředích.
Materiál našeho nosiče povlaku RTP/RTA SiC je navržen tak, aby zabránil prasklinám a delaminaci, zatímco vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost zajišťují konzistentní výkon pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem nosiči povlaku RTP/RTA SiC

Parametry nosiče povlaku RTP/RTA SiC

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti nosiče povlaku RTP/RTA SiC

Vysoce čistý grafit potažený SiC
Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
Jemný krystal SiC potažený pro hladký povrch
Vysoká odolnost proti chemickému čištění
Materiál je navržen tak, aby nedocházelo k prasklinám a delaminaci.