Čína Polovodičové komponenty Výrobci, dodavatelé, továrna

Jako profesionální výrobce bychom vám rádi poskytli polovodičové komponenty. Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.

Komponenty potažené SiC o vysoké čistotě jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od grafitových spotřebních materiálů pro horké zóny pro pěstování krystalů (ohřívače, susceptory kelímků, izolace) až po vysoce přesné grafitové komponenty pro zařízení na zpracování plátků, jako jsou grafitové susceptory potažené karbidem křemíku pro epitaxi nebo MOCVD.

Výhody pro polovodičové procesy

Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává grafitovou konstrukci potaženou vysoce čistým karbidem křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.

Víka komor â
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.

Koncový efektor â
Koncový efektor je ruka robota, která pohybuje polovodičovými destičkami mezi pozicemi v zařízení na zpracování destiček a nosiči.

Vstupní kroužky â
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.

Zaostřovací kroužek â
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.

Wafer Chuck â
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.