Jako profesionální výrobce bychom vám rádi poskytli polovodičové komponenty. Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.
Komponenty potažené SiC o vysoké čistotě jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od grafitových spotřebních materiálů pro horké zóny pro pěstování krystalů (ohřívače, susceptory kelímků, izolace) až po vysoce přesné grafitové komponenty pro zařízení na zpracování plátků, jako jsou grafitové susceptory potažené karbidem křemíku pro epitaxi nebo MOCVD.
Výhody pro polovodičové procesy
Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává grafitovou konstrukci potaženou vysoce čistým karbidem křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.
Víka komor â
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.
Koncový efektor â
Koncový efektor je ruka robota, která pohybuje polovodičovými destičkami mezi pozicemi v zařízení na zpracování destiček a nosiči.
Vstupní kroužky â
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Zaostřovací kroužek â
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Wafer Chuck â
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.
Představujeme Wafer Transfer Hand, navrženou a vyrobenou naším týmem odborníků v Číně, tento produkt je speciálně navržen tak, aby zajistil bezpečný a efektivní přenos waferů z jednoho místa na druhé, aniž by došlo k poškození jemného povrchu.
Přečtěte si víceOdeslat dotazPokročilé, vysoce čisté komponenty potažené karbidem křemíku Semicorex jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v procesu manipulace s plátky. Náš Semiconductor Wafer Chuck má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazUltračisté keramické komponenty Semicorex, ideální pro litografii nové generace a aplikace pro manipulaci s destičkami, zajišťují minimální kontaminaci a poskytují výjimečně dlouhou životnost. Naše vakuové sklíčidlo na oplatky má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazOdolné zaostřovací kroužky Semicorex pro zpracování polovodičů jsou navrženy tak, aby vydržely extrémní prostředí plazmových leptacích komor používaných při zpracování polovodičů. Naše ohniskové kroužky jsou vyrobeny z vysoce čistého grafitu potaženého hustým povlakem z karbidu křemíku (SiC) odolným proti opotřebení. Povlak SiC má vysokou odolnost proti korozi a teplu, stejně jako vynikající tepelnou vodivost. SiC nanášíme v tenkých vrstvách na grafit pomocí procesu chemického napařování (CVD), abychom zlepšili životnost našich fokusačních kroužků.
Přečtěte si víceOdeslat dotazZaostřovací kroužek pro plazmové zpracování Semicorex je speciálně navržen tak, aby splňoval vysoké požadavky na zpracování plazmového leptání v polovodičovém průmyslu. Naše pokročilé, vysoce čisté komponenty potažené karbidem křemíku jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí a jsou vhodné pro použití v různých aplikacích, včetně vrstev karbidu křemíku a epitaxních polovodičů.
Přečtěte si víceOdeslat dotazPokročilé, vysoce čisté kroužky SiC Focus od společnosti Semicorex jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v komorách pro plazmové leptání (nebo suché leptání). Zaměřujeme se na polovodičový průmysl, jako jsou vrstvy karbidu křemíku a epitaxní polovodiče. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz