Semicorex křemíkové lodě jsou nosiče křemíku s vysokou čistotou určenou pro růst krystalů, polovodičové a fotovoltaické výrobní procesy, které poskytují výjimečnou tepelnou stabilitu a kontrolu kontaminace. Výběr Semicorex znamená přístup k přesnosti inženýrským lodím vyrobeným pod přísnou kontrolou kvality, aby se zajistil konzistentní výkon v nejnáročnějších prostředích.*
Semicorex silikonové lodě jsou specializované komponenty používané převážně při vysokoteplotním růstu krystalů, produkci polovodičů a souvisejících fotovoltaických odvětvích. Jsou konstruovány z vysoce čistého křemíku a během tepelného zpracování jsou vyrobeny pro držení oplatků, substrátů nebo surovin. To zajišťuje, že proces nastává v čistém prostředí a kontrolovaném prostředí, které je neuvěřitelně důležité při zajišťování zajištění materiálů udržující čistotu a spolehlivý výkon bez kontaminace.
Jsou vyrobeny pomocí pokročilých technik formování a slinování, křemíkové lodě poskytnou vynikající rozměrovou přesnost a vynikající hladký povrch povrchu. To je rozhodující pro dosažení rovnoměrného zahřívání komponent naložených na substrátu nebo lodi, což zajišťuje nízké tepelné gradienty a defekty během zahřívání a chlazení. Kromě toho mají vysoký bod tání křemíku, což znamená, že loď vydrží extrémní teploty během jakéhokoli procesu (jako je difúze, oxidace, epitaxy) bez deformace nebo degradace materiálu. Nakonec mají koeficient nízkého tepelné roztažnosti pro křemík, který také poskytuje mechanickou stabilitu a snižuje pravděpodobnost praskání a deformace při interakci s rychlými tepelnými změnami.
Jednou z hlavních výhod spojených s křemíkovými loděmi je jejich vysoká chemická inernty. V agresivních procesních prostředích nejsou křemíkové lodě napadeny halogeny, kyselinami a reaktivním plynem a poskytují významné pojištění, že loď nebude podstoupit degradaci povrchu nebo bude generovat variabilitu kontaminantů do zpracovatelské komory, která může ohrozit výnos a kvalitu produktu. Čistota materiálu, který může překročit> 99,999% čistoty, je také nesmírně důležitá při výrobě polovodičů, protože přítomnost rovnoměrného drobného množství kontaminantů může dramaticky ovlivnit elektrické vlastnosti koncových zařízení.
Kromě části růstu ingotu se ve většině kroků výroby destiček používají křemíkové lodě - a během procesů tepelného zpracování slouží jako spolehlivé a předvídatelné nosiče substrátů křemíku. Křemíkové lodě vystavují každý vzorek identickému času vytápění a expozice - Konzistence je klíčová pro udržení kvality krystalů. Mohou být také implementovány se všemi typy návrhů pec a procesních atmosférách, což z něj činí produkt s univerzální aplikací na většinu zpracovatelských linek. Hladké povrchy vnitřních kompartmentů poskytují menší poškození tenčí mechanické struktury oplatků ve srovnání s jinými skutečně drsnými povrchy, které přispívají nižšími riziky mikrofraktur a zvyšují konečný výnos.
Křemíkové lodě jsou životně důležité pro výrobu v procesech difúze nebo implantace iontů polovodičového průmyslu, kde oplatky musí být přesně kontrolovány teplotou na okraji lodi, podél boční strany a rovnoměrně zahřívány. Pevnost a tepelná vodivost křemíku dává výrobci dostatečné rozlišení pro kontrolu teplot procesu, aby se minimalizovaly doby cyklu a optimalizovaly účinnost celkového procesu. Inerty materiálu nezkazí interakci s plynovými formami dopantů, což umožňuje těsnou kontrolu dopingových profilů.
Křemínové lodě mohou být v květnu konstruovány v květnu, které se mění a velikosti, které zahrnují ploché, štěrbiny a řadu vlastních tvarů, které splňují procesní požadavky jednotlivého výrobce. Existuje několik možností přizpůsobení, včetně tloušťky stěny, šířky štěrbin a vzorů, které splňují různý počet oplatků různých velikostí. Tyto možnosti umožňují výrobci ovládat tepelný tok, maximální kapacitu lodí a nakládání/vykládání lodí.
Další oblastí, kde výhodou povrchu křemíkového člunu je údržba lodí a jejich životnost. Obecně platí, že křemíkové lodě poskytují trvalé životnosti a přitom zachovávají několik postupů pro manipulaci a čištění pro pravidelné čištění lodí v oblastech s vysokou teplotou, kde vidí mnoho „rychlého tepelného cyklování“. S dobře udržovanou strukturou se frekvence náhrady sníží, což povede k nižším nákladům na provoz a doba prostoje.
Silikonové lodě jsou kritické v současné polovodičové a sluneční výrobě, kde je klíčová kontrola procesů a prevence kontaminace. Čistota, tepelná stabilita, mechanická trvanlivost a chemická stabilita křemíkových lodí umožňují jejich použití v procesech, které mají náročné požadavky. Ať už v laboratorním prostředí nebo ve větší průmyslové praxi mohou křemíkové lodě nabídnout stálý a spolehlivý výkon způsoby, které zlepšují kvalitu produktu, zlepšují výnos a zvyšují efektivitu.
Maximalizace těchto výhod začíná hledáním vysoce kvalitního dodavatele křemíkových lodí. Výrobci dodavatelů, kteří mají dobrou kontrolu kvality, přesné obrábění a zakládání čistých materiálů, jsou schopni poskytovat křemíkové lodě, které nelze měřit pouze pro přesné detaily, rozměrové limity a kvalitu povrchu, ale vytvářejí křemíkové lodě, které jsou vyrobeny z čistého materiálu pro dlouhodobý výkon a spolehlivost v téměř jakémkoli použití aplikace. Užitečnost křemíkových člunů při identifikaci výroby křemíku s některými z nejsložitějších aplikací a polovodičových zařízeních nové generace a vysoce účinných PV solárních článků se produkují s použitím křemíkových člunů.