Držitelé lodí SIC

Držitelé lodí SEMICOREX jsou přesná podpůrná zařízení určená k držení oplatkových lodí během procesu vysokoteplotních procesů při výrobě polovodičů. Tyto držáky vyrobené z vysoce čistého křemíkového karbidu (SIC) vykazují vynikající tepelnou stabilitu, chemickou rezistenci a mechanickou rigiditu, základní rysy při použití v procesech, jako je difúze, oxidace a epitaxiální růst.

V náročném prostředí polovodičových výrobních prostředí je zásadní ochrana integrity oplatky a minimalizace kontaminace. Držitelé lodí SIC nabízejí solidní inertní platformu, která může tolerovat prostředí extrémní pece při zachování integrity bez deformace a bez uvolnění kontaminantů. Jejich chemická ivarta umožňuje jejich použití s plynnými procesy reaktivního procesu, zatímco jejich tepelná propustnost podporuje rovnoměrné zahřívání povrchu oplatků pro konzistentní zpracování.

Každý držák SIC lodí se vyrábí s vysokou tolerancí pro přesnost rozměru, což je usnadňuje přizpůsobení se a přizpůsobuje se jakémukoli typu lodi a automatizované konfigurace zatížení. Jejich tuhá struktura vytváří nejen silnou, stabilní a dostatečnou podporu pro destičky, ale také snižuje náhodní mikro-vibrace nebo polohové posuny na oplatkách. Navíc má křemíkový karbid vynikající odolnost proti opotřebení a zvládne opakované tepelné cyklování, aby zajistilo dlouhou životnost, což má za následek malé prostoje a výměnu částí lahvičky.

Unikátní atributy karbidu křemíku mohou přinést další výhody s ohledem na čistotu procesu. Na rozdíl od kovů nebo keramických materiálů s nižším stupněm SIC vloží, outgas ani chemicky se degraduje při extrémních teplotách nebo v plazmě. Díky tomu je držitele lodí SIC skvělým nástrojem pro výrobce, kteří se snaží omezit kontaminaci čistého pokoje pro pokročilé polovodičové uzly, které vyžadují vysoký výnos a čistotu.

Držáky lodí SEMICOREX SIC se vyrábějí pomocí jedinečných procesů formování a slinování, které zajišťují rovnoměrnou mikrostrukturu a mechanický výkon mezi dávkami a přes více držáků lodí. Například lze přizpůsobit tvar nebo konfigurace slotů, jakož i typ montáže.

Ať už se používá ve vertikálních pecích nebo horizontálních reaktorech, přizpůsobení držitelů SIC lodí SIC splňuje tolerance pro výrobu polovodičů nové generace. Pokud si vyberete produkty Semicorex, budete vědět, že jste pracovali s dodavatelem, který je dobře informován, věnovaný dokonalosti materiálu, a snaží se neustále inovovat keramické komponenty s ohledem na spolehlivost a dodání.