SiC člun

Semicorex SiC Boats jsou pečlivě vyrobeny z vysoce čisté SiC keramiky, materiálu oslavovaného pro svou bezkonkurenční tepelnou stabilitu, výjimečnou mechanickou pevnost a neochvějnou chemickou inertnost. Tyto vlastnosti z něj dělají perfektní volbu pro přísné podmínky výroby polovodičů.

Lodě SiC se mohou pochlubit jedinečnou mechanickou pevností a odolností díky tvrdosti materiálu a výjimečné odolnosti proti opotřebení. To jim umožňuje vydržet náročnou povahu prostředí pro výrobu polovodičů s vysokou propustností, aniž by podléhaly postupnému opotřebení. Na rozdíl od jiných materiálů si SiC zachovává svou strukturální integritu v průběhu času, což výrazně snižuje potřebu častých výměn a minimalizuje prostoje ve výrobních operacích – což v konečném důsledku vede k podstatným úsporám nákladů pro výrobce polovodičů.

Chemická inertnost SiC dále posiluje jeho vhodnost pro polovodičové procesy tím, že je vysoce odolný vůči chemickému napadení reaktivními plyny a běžně používanými materiály, jako je chlór a fluor. Tato robustní odolnost zajišťuje, že čluny SiC nekontaminují destičky během zpracování, čímž se zachovává čistota a kvalita vyráběných polovodičových součástek. Pro procesy vyžadující ještě vyšší úroveň chemické odolnosti mohou být lodě SiC potaženy další vrstvou SiC, která poskytuje další bariéru proti chemickému napadení a zlepšuje povrchovou úpravu lodi, aby se snížilo riziko kontaminace částicemi.

Vysoká čistota SiC keramiky používané v těchto člunech je kritická, protože výroba polovodičů vyžaduje materiály s minimálními nečistotami. I stopová množství kontaminantů mohou zhoršit elektrické vlastnosti plátků a vést k defektům v konečných zařízeních. SiC Boats jsou vyrobeny z vysoce čisté SiC keramiky, aby bylo zajištěno, že nevnášejí do procesního prostředí žádné nečistoty, a to ani při zvýšených teplotách a reaktivních podmínkách typických pro výrobu polovodičů. Tato čistota posiluje spolehlivost SiC Boatů pro kritické procesní kroky.

Kompatibilita SiC Boatů s různými polovodičovými zařízeními je prvořadá. Všestrannost SiC umožňuje jeho přesné opracování tak, aby odpovídal specifickým rozměrům a konfiguracím požadovaným pro různé typy polovodičových pecí a reaktorů, díky čemuž jsou vhodné pro širokou škálu aplikací, od malých výzkumných a vývojových operací až po velké výrobní linky. Mimořádná tepelná vodivost a vlastnosti rozptylu tepla navíc přispívají k účinnějšímu řízení teploty během zpracování, což dále zvyšuje výkon a výtěžnost polovodičových součástek.