Lodě SiC

SemicorexSiCčluny jsou precizně zpracované keramické držáky destiček navržené speciálně pro difúzní proces při výrobě polovodičů a fotovoltaiky. Tyto vysoce výkonné komponenty hrají klíčovou roli při výrobě vysoce kvalitních elektronických zařízení bezpečným držením křemíkových plátků během tepelné difúze příměsí. SiC čluny jsou široce používány díky svým vynikajícím materiálovým vlastnostem, včetně vysoké čistoty, vynikající tepelné stability a odolnosti vůči chemické korozi, díky čemuž jsou nepostradatelné ve vysokoteplotních a chemicky náročných prostředích.

Aplikace v difúzních procesech

Čluny SiC se primárně používají v procesu difúze, což je kritický krok při výrobě polovodičů a solárních článků. Tento proces zahrnuje zavádění příměsí, jako je fosfor nebo bor, do křemíkových plátků za účelem modifikace jejich elektrických vlastností. Difúze vyžaduje přesné tepelné řízení a chemicky stabilní prostředí, aby byla zajištěna rovnoměrná distribuce dopantu a konzistentní kvalita plátků. Vysokoteplotní schopnosti a odolnost člunů z SiC je činí ideálními pro tuto aplikaci, zejména v pokročilých technologiích solárních článků, jako je TOPCon typu N (Tunnel Oxide Passivated Contact) a další fotovoltaické články nové generace.

Klíčové vlastnosti SiC člunů

Vysoká čistota:

SiC čluny jsou vyráběny z keramiky z karbidu křemíku o čistotě až 86,5 %. To zajišťuje minimální kontaminaci plátků během procesu difúze a udržuje vysoké standardy požadované pro materiály polovodičové kvality.

Tepelná stabilita:

Karbid křemíkuVýjimečná tepelná vodivost a odolnost vůči tepelným šokům umožňují lodím vydržet rychlé změny teplot a zachovat strukturální integritu při teplotách přesahujících 1000 °C. Tato stabilita zajišťuje spolehlivý výkon napříč několika difúzními cykly.

Chemická odolnost:

SiC čluny vykazují vynikající odolnost proti chemické korozi, i když jsou vystaveny reaktivním dopovacím plynům, jako je fosfin a chlorid boritý. Tato vlastnost zajišťuje dlouhodobou životnost a snižuje riziko kontaminace.

Přesné strojírenství:

Konstrukce člunů z SiC klade důraz na vysokou přesnost pro bezpečné uložení plátků různých průměrů. Pokročilé výrobní techniky zajišťují jednotnost a kompatibilitu s automatizovanými manipulačními systémy a zlepšují provozní efektivitu ve vysoce výkonných výrobních linkách.

Trvanlivost a životnost:

SiC čluny se vyznačují mimořádnou odolností proti opotřebení, což výrazně prodlužuje jejich životnost ve srovnání s jinými materiály. Tato odolnost se promítá do úspory nákladů pro výrobce snížením frekvence výměn.

Možnosti přizpůsobení:

Aby byly splněny různé požadavky výrobců polovodičů a fotovoltaických zařízení, lze čluny SiC přizpůsobit z hlediska rozměrů, kapacity plátků a konstrukčních specifikací. Tato flexibilita zajišťuje kompatibilitu se specifickými difúzními systémy a procesy.

Výhody SiC člunů v difúzních procesech

SiC čluny nabízejí výrazné výhody oproti tradičním materiálům, jako je křemen nebo grafit:

Snížené riziko kontaminace:

Vysoká čistotakarbid křemíkuminimalizuje uvolňování nečistot, které by mohly ohrozit kvalitu plátku během procesu difúze.

Vylepšená efektivita procesu:

Tepelná vodivost SiC zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla napříč všemi pláty, zlepšuje konzistenci difúze dopantu a snižuje defekty.

Zvýšená bezpečnost a spolehlivost:

Mechanická pevnost SiC a odolnost proti deformaci za vysokých teplot přispívá k bezpečnějšímu provozu a spolehlivějším výsledkům v náročných difúzních prostředích.

udržitelnost:

Dlouhá životnost lodí SiC snižuje odpad a podporuje ekologicky udržitelné výrobní postupy.

Aplikace Beyond Diffusion

Zatímco difúzní procesy představují primární aplikaci SiC člunů, jejich robustní vlastnosti je činí vhodnými pro další vysokoteplotní a chemicky agresivní procesy, včetně:

• Oxidace a žíhání ve výrobě polovodičů.
• Procesy chemické depozice z plynné fáze (CVD) pro růst tenkých vrstev.
• Vysokoteplotní procesy v pokročilé výrobě fotovoltaických článků.

SiC čluny jsou základními součástmi v procesu difúze a umožňují přesnou a spolehlivou výrobu polovodičových a fotovoltaických zařízení. Tyto držáky keramických destiček z karbidu křemíku se svými bezkonkurenčními materiálovými vlastnostmi, odolností a možnostmi přizpůsobení nastavují nový standard pro výkon ve vysokoteplotních a chemicky náročných aplikacích. Čluny SiC společnosti Semicorex jsou navrženy tak, aby vyhovovaly vyvíjejícím se potřebám průmyslu a poskytovaly výrobcům nástroje, které potřebují k udržení náskoku na stále více konkurenčním trhu.