Pádlové pádla sic

Pádlové pádla Sic SIC jsou vysoce výkonné komponenty, které jsou navrženy přesně pro manipulaci s oplatkou a transport oplatky v polovodičových tepelných zpracovatelských zařízeních (LPCVD, PECVD, Oxidation a Difúzní pece). Tyto konzolové pádla poskytují platformu pro oplatky a nezbytnou formu podpory, která zajišťuje stabilní a spolehlivý přenos křehkých oplatků prostřednictvím tvrdých vysokoteplotních procesů (často přesahujících 1200 ° C). Pádlovky konzoly jsou vyráběny z karbidu křemíku s vysokou čistotou (SIC), který poskytuje mechanickou trvanlivost, tepelnou stabilitu a antikorozivní vlastnosti pro polovodičové výrobní prostředí.

Karbid křemíku je super-premiový keramický materiál s vynikající tepelnou vodivostí, nízkou tepelnou roztažností a schopností spolehlivě provádět v chemicky nepřátelském prostředí. Karbid křemíku v pádlech konzoly může pomoci snížit tepelnou deformaci

 a pohyb, který udržuje oplatky ploché a v jejich nominální poloze zpracování. Tepelná stabilita oplatky v kontextu konzolových pádla je důležitá pro minimalizaci problémů kontaminace částic a mechanického pohybu, zejména při výrobě pokročilých zařízení uzlů. Tyto problémy mohou mít za následek ztrátu výnosu nebo nákladné přepracování a výměnu oplatků.

Monolitická forma pádly SiC konzoly zlepšuje mechanickou robustnost a tepelnou uniformitu a zároveň eliminuje klouby a slabé body, které mohou v kompozitech obvykle existovat. Kromě toho je povrchová úprava pádlach specificky kontrolována a obecně leštěná na téměř zrcadlovou kvalitu, aby se minimalizovala tvorba částic a je velmi kompatibilní s třídou čistého pokoje.

V difúzních a oxidačních procesech, které zahrnují kyslík, páru a jiné reaktivní plyny; Konvenční materiály se mohou v průběhu času roztavit nebo deformovat. Inherentní chemická inertní vlastnost SIC zajišťuje, že pádla nebudou outgas nebo korodují a zavádějí kontaminaci procesu kvůli použití nestabilních materiálů, což přispívá k stabilnějšímu procesu a spolehlivějším výsledkům.  Strukturální integrita pádly SIC zůstává stabilní navzdory rychlému cyklování zahřívání a chlazení. Proto nabízejí dlouhou životnost provozních služeb s výrazně sníženou údržbou nebo výměnou prostojů.

Kromě toho snížená hmotnost a nízká hmotnost pádly SIC umožňují rychlejší tepelnou odezvu; což umožňuje rychlejší tepelné časy a chlazení přispívající ke zvýšené produktivitě a energetické účinnosti, všechny hlavní metriky v konkurenční krajině polovodičové výroby.

Pádlové pádla SiC lze dodávat v různých konfiguracích a velikostech, navržených a vyrobených tak, aby vyhovovaly různým návrhům pec a velikosti oplatky v rozmezí od 100 mm do 300 mm a větší. Integrátoři OEM a vybavení oceňují konzistenci a spolehlivost sic pádla v průběhu času pro nasazení v procesech front-end i back-end.

Semicorex nabízí prémiové pádly SIC konzoly s těsnou kontrolou na čistotu materiálu, mikrostruktury a tolerance rozměrů. Naše pokročilé procesní schopnosti spojené s našimi znalostmi tepelné dynamiky polovodiče nám umožňují produkovat pádla s těmito atributy, které splňují nebo překračují průmyslové standardy pro stabilitu, čistotu a trvanlivost. Pokud musí být správný a spolehlivý, je polokom, kde je místo pro kvalitní komponenty SIC.