Sic keramické lodě

Semicorex sic keramické lodě jsou nejmodernější nosiče speciálně navržené pro bezpečné přepravu, skladování a zpracování polovodičových oplatků v nejnáročnějších chemicky a tepelně extrémním prostředích. Polovodičový průmysl rychle přijal nové výkonnostní standardy, které vyžadovaly sic keramické lodě, aby spolehlivě, důvěryhodné a bez kontaminace dosáhly netolerantních a kritických požadavků na moderní procesy výroby oplatky.

Silná tepelná stabilita a síla

Definujícím atributem keramických lodí SIC je jeho velmi vysoká tepelná stabilita. SiC keramické lodě mohou snášet teplotu přesahující 1600 ° C, aniž by během agresivních tepelných cyklování ztratily tvar nebo strukturu. Vzhledem k ultra nízkému koeficientu tepelné roztažnosti jsou sic keramické lodě méně náchylné k zkreslení a praskání, což umožňuje těsné tolerance a celkovou bezpečnost oplatky během manipulace za tuhých podmínek.

Vysoká čistota a chemická odolnost

Sic keramické lodě jsou vyrobeny z ultra vysoké čistoty křemíkového karbidu. SiC keramické lodě jsou také vysoce odolné vůči chemické degradaci, korozivní a erodování plazmy. Inertní povaha keramických lodí SiC znamená procesy korozivních plynů, reaktivního prostředí, kyselé podmínky by neznamenaly žádnou kontaminaci z lodi nebo nic rozpustného, aby poškodily pracovní proces. Nekontaminační povrch keramických člunů SiC umožňuje žádné tvorbu částic ani iontového vyluhování, takže povrch oplatky není ohrožen nečistotami, které brání výkonu nebo výnosu zařízení.

Precision inženýrství pro bezpečné a bezpečné manipulace s oplatkou

Sic keramické lodě se vyrábějí v rámci těsných tolerance, což jim umožňuje zpracovat oplatky různých průměrů, včetně 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm a dalších. Strukturální návrh lodí SIC poskytuje vynikající rovinnost, paralelismus a jednotnou velikost slotů pro udržení správné orientace na lapování oplatky a chrání okraje oplatky při přenosu do jiného procesu nebo nástroje. Všechny SIC lodě mohou být navrženy s vlastními rozměry, aby odpovídaly sadě nástrojů nebo splňovaly jakékoli automatizační specifikace.

Dlouhý život a nákladově efektivnější

SIC nahrazuje tradiční materiály (křemen, alumina) výrazně zlepšenou mechanickou pevností, houževnatostí zlomenin a odolností proti tepelnému šoku. Tato úroveň trvanlivosti se promítá na delší životnost před „selháním“, výrazně méně náhrad během provozu a snižují celkové náklady na vlastnictví. Konzistence výkonu z trvanlivosti SIC zkrátí časy a zrychlí propustnost na výrobních linkách polovodičů.

Otevřené aplikace v polovodičových procesech

Sic keramické lodě se široce používají v polovodičových procesech front-end, jako jsou:

Depozice LPCVD a PECVD

Tepelná oxidace

Ionta implantace

Žíhání a difúze

Čištění oplatky a chemické zpracování

Sic keramické úchyty mají kompatibilní aplikaci zpracování v komorách atmosféry i vakuových procesů, což z něj činí ideální volbu pro slévárny a FABS, které chtějí minimalizovat a snížit riziko kontaminace a zároveň zvýšit produktivitu.