SiC keramické robotické rameno

SiC keramikarobotické ramenose používá ve více výrobních procesech polovodičových destiček a hraje důležitou roli při zajišťování kvality a účinnosti výroby destiček. Běžně se instaluje uvnitř i vně komor různých polovodičových předních zařízení, jako jsou leptací stroje, nanášecí zařízení, litografické stroje, čisticí zařízení, přímo se podílí na manipulaci a umístění polovodičových destiček. 

Polovodičové destičky jsou snadno kontaminovány částicemi, takže související výrobní procesy se provádějí hlavně v čistých a vakuových polovodičových zařízeních. Ve skutečném provozu, jako základní součást takového zařízení, přichází keramické robotické rameno SiC do přímého kontaktu s polovodičovými destičkami a musí také splňovat ultra vysoké požadavky na čistotu. Keramické robotické rameno SiC společnosti Semicorex je vyrobeno z vysoce výkonné keramiky z karbidu křemíku s následnou precizní povrchovou úpravou a čištěním, které dokáže přesně splnit přísné požadavky výroby polovodičů na čistotu a rovinnost povrchu. To významně přispívá ke snížení defektů plátků a ke zlepšení výtěžnosti výroby plátků.

SiC keramikarobotické rameno je optimální volbou pro postupy tepelného zpracování, jako je žíhání, oxidace a difúze. Díky výjimečné tepelné stabilitě a vynikající odolnosti materiálů z karbidu křemíku proti tepelným šokům jsou keramické robotické rameno SiC schopné spolehlivě fungovat po dlouhou dobu za podmínek vysoké teploty. Může odolat vlivu tepelné roztažnosti a zachovat svou strukturální integritu při tepelném namáhání, čímž zajišťuje konzistentní přesnost umístění plátků.

Díky své robustní odolnosti vůči korozivním plynům a kapalinám může SiC keramické robotické rameno stabilně udržovat svůj výkon, i když je vystaveno agresivním korozním procesním atmosférám, jako je leptání, nanášení tenkých vrstev a implantace iontů. Tato odolnost proti korozi zlepšuje účinnost výroby polovodičových destiček tím, že účinně snižuje riziko poškození součástí souvisejících s korozí a snižuje potřebu častých výměn a údržby.