Grafitový susceptor potažený SiC pro MOCVD

Semicorex je velký výrobce a dodavatel grafitových susceptorů potažených karbidem křemíku v Číně. Zaměřujeme se na polovodičový průmysl, jako jsou vrstvy karbidu křemíku a epitaxní polovodiče. Náš grafitový susceptor potažený SiC pro MOCVD má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex SiC potažený grafitový susceptor pro MOCVD je vysoce čistý grafitový nosič potažený karbidem křemíku, který se v procesu používá k růstu epixiální vrstvy na waferovém čipu. Je to středová deska v MOCVD, tvar ozubeného kola nebo kroužku. Grafitový susceptor potažený SiC pro MOCVD má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Ve společnosti Semicorex jsme odhodláni poskytovat našim zákazníkům vysoce kvalitní produkty a služby. Používáme pouze ty nejlepší materiály a naše produkty jsou navrženy tak, aby splňovaly nejvyšší standardy kvality a výkonu. Náš grafitový susceptor potažený SiC pro MOCVD není výjimkou. Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o tom, jak vám můžeme pomoci s vašimi potřebami zpracování polovodičových destiček.

Parametry grafitového susceptoru potaženého SiC pro MOCVD

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptoru potaženého SiC pro MOCVD

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot