MOCVD Planet Susceptor pro polovodiče

Semicorex je důvěryhodné jméno v polovodičovém průmyslu a poskytuje vysoce kvalitní MOCVD Planet Susceptor pro Semiconductor. Náš produkt je navržen tak, aby vyhovoval specifickým potřebám výrobců polovodičů, kteří hledají nosič, který může poskytovat vynikající výkon, stabilitu a odolnost. Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem produktu a jak vám můžeme pomoci s vašimi potřebami výroby polovodičů.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Náš MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor se vyznačuje odolností proti oxidaci při vysokých teplotách a zajišťuje jeho stabilitu při vysokých teplotách až do 1600 °C. Je také vysoce čistý, vyrobený chemickou depozicí z par CVD za podmínek vysokoteplotní chlorace, což zajišťuje jednotnost a konzistenci produktu, rovnoměrný tepelný profil a laminární proudění plynu.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor.

Parametry MOCVD Planet Susceptor pro polovodiče

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptoru potaženého SiC pro MOCVD

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot