Kroužky SiC Focus

Pokročilé, vysoce čisté kroužky SiC Focus od společnosti Semicorex jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v komorách pro plazmové leptání (nebo suché leptání). Zaměřujeme se na polovodičový průmysl, jako jsou vrstvy karbidu křemíku a epitaxní polovodiče. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex dodává SiC Focus Rings je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění. SiC Focus Rings nebo okrajové kroužky jsou navrženy tak, aby zlepšily rovnoměrnost leptání kolem okraje nebo obvodu plátku. Minimalizujte kontaminaci a neplánovanou údržbu pomocí vysoce čistých komponent navržených pro náročné zpracování plazmového leptání. Naše kroužky SiC Focus s povlakem SiC je hustý povlak z karbidu křemíku (SiC) odolný proti opotřebení. Má vysokou odolnost proti korozi a teplu a také vynikající tepelnou vodivost. SiC nanášíme v tenkých vrstvách na grafit pomocí procesu chemické depozice z plynné fáze (CVD).

Parametry kroužků SiC Focus

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti kroužků SiC Focus

- CVD povlaky z karbidu křemíku pro zlepšení životnosti.

- Tepelná izolace z vysoce výkonného čištěného tuhého uhlíku.

- Ohřívač a deska z uhlíkového/uhlíkového kompozitu. - Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoce čistý grafit a povlak SiC pro odolnost proti dírkám a vyšší životnost