Trubky horizontální pece SIC

SIC horizontální pecní trubkyjsou nepostradatelnými nosiči pecního systému, které se běžně nacházejí v oblasti ohřevu jádra zařízení na výrobu polovodičů nebo fotovoltaické výroby. Spolupracují s topnými články, systémy regulace teploty, systémy regulace plynu a oplatkovými čluny, aby vytvořily kompletní systém pece.

Při vlastním provozu jsou horizontální pecní trubky SIC ohřívány topnými články, které rovnoměrně předávají teplo do trubek pece pomocí vynikající tepelné vodivosti materiálů z karbidu křemíku. Mezitím jsou do trubky pece zaváděny specifické procesní plyny (jako je kyslík, dusík, dopingové plyny atd.). Působením této plynné atmosféry o vysoké teplotě procházejí polovodičové materiály uvnitř pece chemickými reakcemi nebo fyzikálními změnami, čímž se nakonec dosáhne modifikace materiálu, dotování nebo strukturální optimalizace.

Horizontální pecní trubky SIC firmy Semicorex poskytují pozoruhodnou mechanickou pevnost a tvrdost, což hraje významnou roli v aplikacích zahrnujících manipulaci a zpracování velkoobjemových plátků. Horizontální pecní trubky SIC jsou schopny poskytnout stabilní podporu plátkům v procesech tepelného zpracování, jako je oxidace, difúze a žíhání, zajišťující, že pláty jsou ve správné poloze během vysokoteplotního zpracování a zabraňují posunutí nebo deformaci způsobené tepelným namáháním.

Horizontální pecní trubky SIC firmy Semicorex jsou vyráběny z vysoce čistékeramika z karbidu křemíkus ultranízkým obsahem nečistot s následnou depozicí CVDpovlak z karbidu křemíkuna jejich povrchu. Tato výrobní metoda přidává k horizontálním pecním trubkám SIC ochrannou vrstvu, která jim umožňuje dlouhodobě stabilně pracovat v náročných vysokoteplotních a korozních prostředích. Tato odolnost horizontálních trubek pece SIC proti korozi zlepšuje účinnost výroby polovodičových destiček tím, že účinně snižuje riziko poškození součástí souvisejících s korozí a snižuje potřebu častých výměn a údržby.

S tolika vynikajícími vlastnostmi jsou horizontální pecní trubky SIC společnosti Semicorex široce používány v mnoha procesech vysokoteplotního zpracování ve fotovoltaickém a polovodičovém průmyslu, jako je oxidační proces, difúzní proces, proces žíhání a nízkotlaká chemická depozice.