SiC ICP deska

Semicorex SiC ICP deska je vyrobena z karbidu křemíku, který je známý pro své výjimečné fyzikální a chemické vlastnosti. Jeho robustní povaha zajišťuje vynikající odolnost proti tepelným šokům, oxidaci a korozi, což jsou kritické faktory v drsném prostředí zpracování polovodičů. Použití materiálu SiC výrazně prodlužuje životnost desky, snižuje frekvenci výměn a tím snižuje náklady na údržbu a prostoje ve výrobních zařízeních.

SiC ICP deska hraje klíčovou roli v procesech plazmového leptání a depozice, které jsou zásadní pro vytvoření polovodičových waferů. Během těchto procesů zajišťuje vysoká tepelná vodivost a stabilita SiC ICP desky přesné řízení teploty a rovnoměrné rozložení plazmatu, což je životně důležité pro dosažení konzistentních a přesných výsledků leptání a nanášení. Tato přesnost je kritická při výrobě stále miniaturizovaných a složitějších polovodičových zařízení, kde i malé odchylky mohou vést k významným problémům s výkonem.

Jednou z výjimečných vlastností SiC ICP desky je její mimořádná mechanická pevnost. Tvrdost a tuhost karbidu křemíku poskytují vynikající strukturální integritu, a to i za extrémních podmínek. Tato robustnost se promítá do stabilnějšího a spolehlivějšího výkonu během vysoce intenzivních plazmových procesů, čímž se minimalizuje riziko selhání součástí a zajišťuje nepřetržitý, nepřerušovaný provoz. Navíc nízká hmotnost materiálu ve srovnání s tradičními kovovými protějšky přispívá ke snadnější manipulaci a instalaci a dále zvyšuje provozní efektivitu.

Kromě svých fyzikálních vlastností nabízí SiC ICP deska vynikající chemickou stabilitu. Vykazuje pozoruhodnou odolnost vůči reaktivním druhům plazmatu, které převládají v prostředí polovodičového leptání a depozice. Tato odolnost zajišťuje, že si deska zachová svou integritu a výkon po dlouhou dobu, a to i v přítomnosti agresivních chemikálií používaných v plazmových procesech. V důsledku toho deska SiC ICP poskytuje čistší prostředí pro zpracování a snižuje pravděpodobnost kontaminace a defektů v polovodičových destičkách.