Oxidační trubice SiC

Oxidační trubice Semicorex SIC je konstruována z vysoce čistého karbidového karbidu keramiky určené pro oxidační, difúzi nebo žíhací procesy obvykle prováděné při 1600 ° C. V rámci pece SIC, horizontální nebo svislé, je to kontrolované prostředí, ve kterém jsou oplatky zahřívány při oxidaci. Funkcí oxidační trubice je poskytnout čisté, jednotné a stabilní prostředí pro tepelné ošetření křemíkových karbidů (SIC) oplatků při výrobě napájecích zařízení a semikontorů široké bandgap, jako otvor konstantního potenciálního oxidačního procesu. Zatímco trubice křemene a aluminy se často zjišťují, že se v průběhu času rozkládají devitrifikací, deformací nebo chemickým rozkladem, křemíkový karbid má výjimečnou trvanlivost proti výzvám v tepelném šoku, vylepšení mechanického vlastnictví a chemickou netrpělivost. Tyto faktory poskytují křemíkový karbid jako skvělou volbu pro oxidační trubice ve vysokých spolehlivosti, vysokopustném prostředí.

Pomocí pokročilých forem formování, jako je studená izostatická lisování a bez tlaku na slinování (nebo rekrystalizace), Semicorex produkuje oxidační trubice SIC, které mají hustou, plynulou a homogenní mikrostrukturu. To poskytuje sílu bez rizika porozity, což umožňuje procesu oxidace pokračovat bez kontaminace. SIC má velmi vysokou tepelnou vodivost, což umožňuje rovnoměrné tepelné rozdělení do zóny zatížení oplatky a tím snižuje tepelné gradienty, které mohou způsobit pokřivené oplatky nebo defekty. Odolnost trubice na kyseliny, báze a reaktivní plyny brání nežádoucím chemickým interakcím s povrchem oplatky a také prostřednictvím prostředí pece.

Neplátí se, nerozšiřuje se. Trubka nemusí být nahrazena po několika výrobních cyklech-jedná se o dlouhodobé tepelné cyklistické prostředí, které by jinak zničilo menší materiály. Proto žádné vysokofrekvenční přerušení neznamenají nízké provozní náklady, což udržuje tok procesu bez jakýchkoli narušení. To také snižuje rizika kontaminace, která mohou snadno snižovat výkon výnosu v polovodičových zařízeních nové generace, kde hrají kritickou roli nečistoty stopy. Semicorex produkuje jak standardní, tak plně přizpůsobené rozměry trubice pro jakoukoli použitá plošinu a recept. Vnitřní a vnější průměr, délka, tloušťka stěny a povrchová úprava jsou všechny parametry, které mohou vyžadovat nastavení pro řešení různých specifických tepelných a mechanických potřeb; Od laboratorního měřítka ve výzkumných a vývojových pecích až po velké výrobní linky-v každém případě, kdy trubice potřebuje obrábění, čištění a kontrolu, aby zaručila výkon.

Kontrola kvality začíná rozměrovými kontrolami, testy hustoty materiálu a ověřením spolehlivosti tepelného cyklu pro každou oxidační trubici SIC. Silný systém sledovatelnosti materiálu zaznamenává produkt od stadia surového prášku až po konečnou kontrolu. Tento druh kvality dává zákazníkům stabilní ruku v dlouhodobé stabilitě a reprodukovatelnosti našich oxidačních trubek SIC.

Vyberte si Semicorex a získejte partnera v dodavateli, který kombinuje pokročilé keramické inženýrství s širokou kontrolou procesů a responzivní technickou podporou spoluprací od samého začátku. Dozvíme se o vašem konkrétním prostředí pece, požadavcích na procesy a výzvách pro integraci, abychom vám mohli nabídnout přizpůsobená řešení zlepšují výsledky procesu a doba nástroje.

Oxidační trubice Semicorex SIC poskytuje nejlepší možný tepelný výkon s chemickou stabilitou a mechanickou pevností. Stává se jádrem jakéhokoli vysokoteplotního systému SIC tím, že poskytuje jednotné tepelné prostředí během oxidace a žíhání pokročilých polovodičových materiálů. Pro výrobce, kteří vyžadují, aby komponenty pece byly spolehlivé, čisté a dlouhodobé, bude Semicorex volbou produktu podporovanou znalostí a zkušenostmi a také standardem poskytování nic jiného než nejlepší.