Sic trubky

Polopicové trubky jsou keramické díly pro polovodičové pece.  Mají jedinečné vlastnosti, které zahrnují vysoký tepelný přenos a vysokoteplotní a chemická odolnost, která je vyžadována v polovodičových aplikacích, kde existují extrémní vysokoteplotní a chemické podmínky prostředí, které se očekávají a kde jsou žádoucí vlastnosti - trvanlivost, energetická účinnost a jedinečné stabilní procesní podmínky - což umožňuje, aby bylo v pokročilém semikologickém prostředí úsporné.

Polokorex sic trubky používají jemné zdivo.křemíkový karbidTo je vyrobeno tak, aby mělo výjimečnou vysokoteplotní mechanickou stabilitu v důsledku pokročilých metod a technik rekrystalizace. Povolení vysoce výkonné SIC má za následek výjimečnou mechanickou pevnost a zachování tepelné stability při vysokých provozních teplotách. SIC má výjimečnou tvrdost, která zmírňuje opotřebení nebo potenciální deformaci.  Kromě toho jsou prospěšné atributy spojené s vlastnostmi SIC s nízkým palivem, protože omezují tepelné napětí, protože budou existovat požadavky na cyklování tohoto materiálu mezi extrémním vysokým a nízkým provozním teplem. Ve všech těchto úvahách mají zvláštní užitek pro ideální aplikace v difúzních pecích, oxidačních pecích a systémech LPCVD/PECVD, aby se udržovaly maximální stabilní procesní podmínky pro eliminaci nebo omezení defektů, které jsou také metriky souvisejícími s dekou nebo materiálem s vysoce stabilními podmínkami procesu.

Další důležitou užitečností trubek SIC jsou profily s vysokým tepelným vodivostem za specifických podmínek a příslušné návrhy pece, které vytvářejí vysokou rychlost vodivých a zásadních a rovnoměrných a stabilních rozdělení teploty v průběhu procesu.  Toto spolehlivé chování umožňuje, aby oplatky byly vystaveny polovejnickým rozdělení teploty v přiměřených časových intervalech a navíc omezují tepelné gradienty ke zmírnění zkreslených a/nebo defekovaných oplat

Chemická stabilita a rezistence je dalším důležitým faktorem výkonu.  V polovodičových procesech jsou trubice pece podrobena vlivu vysoce reaktivních plynů včetně kyslíku, vodíku, amoniaku a všech halogenů, které mohou rychle degradovat konvenční materiály. Hustá a neporézní mikrostruktura, spolu s chemicky inertní povahou SIC, ji chrání před oxidací a korozí a zároveň poskytuje provozní a mechanický výkon v extrémním procesním prostředí.  Trvanlivost pecí SIC jim pomáhá udržovat integritu formy a dimenzionální přesnosti po dlouhou dobu, což je důležité pro kontrolu a stabilitu procesu.

Trubky SIC lze vyrábět v široké škále velikostí a tloušťky stěny, geometricky tvarované tak, aby odpovídaly návrhům pece a potřebám procesů.  Při navrhování a výrobě trubek SIC jsou také udržovány přesné přesné obráběcí charakteristiky, takže operační tolerance mohou být těsné, s hladkými vnitřními povrchy a vynikající soustřednosti pro udržení rovnováhy toku laminárního plynu a jednotných tepelných profilů. Leštění povrchu a povlaky lze poskytnout jako možnosti léčby, které zvýší výkon snížením tvorby částic a zlepšením odolnosti proti korozi.

Potrubí SIC mají jasné provozní a nákladové výhody ve srovnání s alternativními materiály, jako je křemen nebo trubky aluminy.  Počáteční náklady na komponenty SIC mohou být o něco vyšší, ale životnost produktu, snížení rozbití a nižší požadavky na údržbu vede k celkovým nákladům na vlastnictví, které jsou nižší náklady než alternativní materiály a trubky.

Na závěr, SemicorexSicPotrubí jsou nejlepší volbou pro aplikace polovodičové pece, protože poskytují nejlepší tepelný výkon, mechanickou pevnost, chemickou odolnost a spolehlivost pro náročné výrobní prostředí. Tento materiál zlepšuje stabilitu procesu a pomáhá při úsporách a efektivitě nákladů na silnici (tj. Nižší spotřebu energie). Potrubí sic jsou základní materiál pro moderní polovodičovou výrobu.