Domov > Produkty > Keramický > Karbid křemíku (SiC) > Porézní keramické oddělovací sklíčidla SIC
Porézní keramické oddělovací sklíčidla SIC

Porézní keramické oddělovací sklíčidla SIC

Porézní keramická upínací sklíčidla Semicorex SiC jsou základními součástmi speciálně navrženými pro adsorpci a fixaci ztenčených ultratenkých waferů v pokročilé výrobě polovodičů. Semicorex se zavázal nabízet našim váženým zákazníkům precizně obrobená SiC porézní keramická sklíčidla s nejlepší kvalitou na trhu.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

S pokrokem ve zpracování polovodičů a rostoucí poptávkou po elektronických součástkách se aplikace ultratenkých waferů stává stále důležitější. Obecně jsou destičky s tloušťkou menší než 100 μm označovány jako ultratenké destičky. Při ztenčení destiček pod 100 μm však vykazují výraznou křehkost a jejich mechanická pevnost následně klesá, což má za následek vysoké riziko zkroucení, ohnutí nebo dokonce zlomení destičky. Z tohoto důvodu je volba použití porézních keramických upínacích sklíčidel Semicorex SiC moudrým rozhodnutím, které může poskytnout spolehlivou podporu a ochranu ultratenkých plátků pro dosažení bezpečného oddělení v procesu rozpojování.


SiC porous ceramic debonding chucks

Výhody porézních keramických sklíčidel Semicorex SiC


1.Výjimečné vlastnosti materiálu

S tvrdostí podle Mohse přibližně 9,5, SemicorexSiC porézní keramická upínací sklíčidlase může pochlubit výjimečnou odolností proti opotřebení a může dlouhodobě odolávat opakované vakuové adsorpci a uvolňování se spolehlivou trvanlivostí během procesu rozpojování.

Kromě toho, s vynikající tepelnou vodivostí, jsou upínací sklíčidla Semicorex SiC z porézního keramiky vhodná pro rychlé vedení tepla, což může účinně zabránit místnímu přehřátí, které může degradovat nebo poškodit destičky, zvláště vhodné pro vysokoteplotní proces odpojování.


2. Vysoce výkonná porézní keramická struktura

Vyrobeno z vysoce kvalitníkarbid křemíkuprášku díky vysokoteplotnímu slinování mají upínací pouzdra Semicorex SiC z porézního keramiky četné vzájemně propojené mikropóry rovnoměrně rozmístěné uvnitř. S porozitou 30 (±5) % a velikostí pórů přesně řízenou mezi 2-25 μm mohou upínací sklíčidla Semicorex SiC z porézní keramiky zajistit, že ultratenké destičky budou během procesu odlepování rovnoměrně namáhány, čímž se výrazně sníží riziko deformace a zlomení destičky.


3. Přesná kontrola rovinnosti

Díky vyspělým technologiím obrábění a povrchové úpravy dosahují upínací sklíčidla Semicorex SiC s porézní keramikou rovnoběžnosti řízené pod 0,02 mm a oboustranné rovinnosti pod 0,02 mm. Tato vynikající rovinnost a rovnoběžnost poskytují stabilní a plochou nosnou platformu pro proces odlepování ultratenkých plátků, což účinně zaručuje přesnost a spolehlivost procesu odlepování.


4.Flexibilní možnosti rozměrů

Porézní keramická upínací sklíčidla Semicorex SiC jsou vhodná pro zpracování plátků 6 palců a 8 palců a jsou k dispozici v různých standardních rozměrech, včetně průměru 159 mm × tloušťka 0,75 mm, průměr 200 mm × tloušťka 1 mm, průměr 204 mm × tloušťka 1,5 mm.


Hot Tags: Porézní keramické oddělovací sklíčidla SIC, Čína, Výrobci, Dodavatelé, Továrna, Na míru, Hromadné, Pokročilé, Odolné
Související kategorie
Odeslat dotaz
Neváhejte a napište svůj dotaz do formuláře níže. Odpovíme vám do 24 hodin.
X
Používáme cookies, abychom vám nabídli lepší zážitek z prohlížení, analyzovali návštěvnost webu a přizpůsobili obsah. Používáním tohoto webu souhlasíte s naším používáním souborů cookie. Zásady ochrany osobních údajů
Odmítnout Přijmout