Svislé lodě SiC

Svislé svislé lodě Sic jsou navrženy a vyrobeny a vyrobeny tak, aby poskytovaly nejvyšší tepelnou, mechanickou a chemickou stabilitu pro zpracování polovodiče svislé pece. Konstruováno z vysoké čistotykřemíkový karbidVěříme, že jsou nejlepší rovnováhou pevnosti, trvanlivosti a čistoty pro velmi pokročilé tepelné zpracování oplatky, zaznamenané jako oxidace, difúze, LPCVD a žíhání ve svislé pec.

Prostředí zpracování vertikální pece vyžaduje systém podpory oplatky, který vydrží opakované expozice při vysoké teplotě, často přesahující 1 200 ° C a zůstává bez problémů s kontaminací dimenně stabilní. Svislé lodě SIC vynikají v jejich robustnosti v těchto situacích kvůli vnitřní mechanické a tepelné vlastnosti rekrystalizovaného nebo CVD křemíkového karbidu. Jejich extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti zajišťuje minimální válku nebo zkreslení v důsledku rychlého tepelného cyklování. Kromě toho vysoká tepelná vodivost nabízí největší homogenitu lokální teploty ve všech oplavách, což je rozhodující pro konzistenci oplatky-top v tloušťce vrstvy, dopingové profily a elektrický výkon; Důležité aspekty výroby s vysokým objemem v polovodičovém průmyslu.

Ve srovnání s tradičními křemennými loděmi poskytují SIC vertikální lodě vynikající mechanickou sílu a prodlouženou životnost. Quartz má tendenci se v průběhu času stát křehkým a devitrify, zejména v agresivních chemiích pec, což vede k vyššímu nákladům na náhradu a potenciálním přerušení výroby. Naproti tomu křemíkový karbid si udržuje svou integritu i po dlouhodobé expozici korozivním plynům, jako je chlor, HCI nebo amoniak, které jsou běžné v různých difúzních a LPCVD procesech. Jeho výjimečná odolnost proti opotřebení a oxidaci výrazně snižuje tvorbu částic a pomáhá chránit povrchy oplatky před kontaminací a tvorbou defektů.

Svislé lodě SIC také nabízejí významnou výhodu z hlediska ultračitačního zpracování. Materiál SIC s vysokou mírou je zpracován pod přísnou pečlivostí, aby se snížila identifikovatelná stopová kontaminující kovy, které mohou narušovat provozní charakteristiky polovodičových zařízení. Svislé povrchy SIC svislých lodí jsou dobře dokončeny s pravoúhlými prvky, které minimalizují šanci na uvolňování mikročástic. Povrchy SIC jsou chemicky inertní a nereagují s procesními plyny, a proto jsou méně náchylné k kontaminaci. V tomto ohledu jsou SIC Vertical Boats dobře vhodné pro přední konec linie (FEOL) a zadní konec linie (BEOL) operace oplatky.

Svislé lodě SIC také nabízejí flexibilitu designu. Každá vertikální loď může být specifická pro konstrukci pro přizpůsobení více průměrů oplatky (150 mm, 200 mm nebo 300 mm oplatky) a k splnění požadavků na procesy lze použít číslo a mezery. Přesné obrábění a kontrola rozměru umožňují správné zarovnání oplatky a podpora oplatky minimalizující pravděpodobnost jakýchkoli mikrokošů nebo prasklin napětí během nakládání, zpracování a vykládky. Pokud je pro konkrétní proces vyžadována rovněž vyvolaná jednotnost teploty a / nebo méně tepelné hmoty, mohou být optimalizované geometrie a návrhy slotů začleněny do konfigurací SIC vertikálních lodí, aniž by obětovaly jakékoli mechanické vlastnosti.

Další výhodou je údržba a provozní účinnost. Přísná konstrukceSicSvislé lodě snižují dobu a frekvenci náhrady, čímž minimalizují prostoje nebo náklady na vlastnictví. Odolnost tepelného nárazu SIC umožňuje kratší cykly zahřívání a chlazení, aby se na výrobních linkách poskytovaly vyšší propustnost. Údržba nebo čištění vertikálních lodí SIC je také velmi jednoduché; Materiál může vydržet většinu konvenčních procesů mokrých nebo chemických čištění běžných v polovodičových bázech, jako je chemické čištění kyselinami a pečení s vysokou teplotou.

V tomto moderním věku sofistikované výroby polovodičů, kde mají zlepšení výnosu, kontrola kontaminace a stabilita v tomto procesu, nabízejí vertikální lodě SIC skutečnou technologickou výhodu. Dobře se zabývají fyzikálními a chemickými výzvami aplikací vertikálních pecí a přispívají k celkové optimalizaci procesů poskytováním integrity oplatky, konzistentních výsledků a delší životností vybavení.