Vertikální čluny SiC

Semicorex SiC Vertical Boats jsou zkonstruované nosiče plátků, navržené a vyrobené tak, aby poskytovaly nejvyšší tepelnou, mechanickou a chemickou stabilitu pro zpracování polovodičů ve vertikální peci. Vyrobeno z vysoce čistéhokarbid křemíkuVěříme, že představují nejlepší rovnováhu mezi pevností, odolností a čistotou pro velmi pokročilé tepelné zpracování plátků, známé jako oxidace, difúze, LPCVD a žíhání ve vertikálních pecních systémech.

Prostředí zpracování ve vertikální peci vyžaduje nosný systém plátků, který vydrží opakované vystavení vysoké teplotě, často přesahující 1200 °C, a zůstane rozměrově stabilní bez problémů s kontaminací. SiC Vertical Boats vynikají svou robustností v těchto situacích kvůli vnitřním mechanickým a tepelným vlastnostem rekrystalizovaného nebo CVD karbidu křemíku. Jejich extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti zajišťuje minimální deformaci nebo deformaci v důsledku rychlého tepelného cyklování. Navíc vysoká tepelná vodivost nabízí největší lokální teplotní homogenitu napříč všemi pláty, což je kritické pro konzistenci mezi plátkem v tloušťce vrstvy, dotovacích profilech a elektrickém výkonu; důležité aspekty velkoobjemové výroby v polovodičovém průmyslu.

Ve srovnání s tradičními quartzovými čluny poskytují SiC Vertical Boats vynikající mechanickou pevnost a prodlouženou životnost. Křemen má v průběhu času tendenci křehnout a odskelňovat, zejména v agresivní chemii pecí, což vede k vyšším nákladům na výměnu a potenciálnímu přerušení výroby. Naproti tomu karbid křemíku si zachovává svou integritu i po dlouhodobém vystavení korozivním plynům, jako je chlór, HCl nebo amoniak, které jsou běžné v různých difúzních a LPCVD procesech. Jeho výjimečná odolnost proti opotřebení a oxidaci výrazně snižuje tvorbu částic a pomáhá chránit povrchy plátků před kontaminací a tvorbou defektů.

SiC Vertical Boats také nabízí významnou výhodu v oblasti ultračistého zpracování. Vysoce čistý SiC materiál je zpracováván s přísnou pečlivostí, aby se snížily identifikovatelné stopy kontaminujících kovů, které mohou narušovat provozní vlastnosti polovodičových zařízení. Povrchy SiC Vertical Boat jsou dobře dokončeny s pravoúhlými prvky, které minimalizují možnost uvolňování mikročástic. Povrchy SiC jsou chemicky inertní a nereagují s procesními plyny, a proto jsou méně náchylné ke kontaminaci. V tomto ohledu jsou vertikální lodě SiC vhodné pro operace zpracování plátků na předním konci linky (FEOL) a na zadním konci linky (BEOL).

SiC Vertical Boats také nabízí flexibilitu designu. Každá vertikální loď může být designově specifická, aby se do ní vešlo více průměrů plátků (150 mm, 200 mm nebo 300 mm plátků) a počet štěrbin a rozteč lze využít ke splnění procesních požadavků. Přesné obrábění a kontrola rozměrů umožňují správné vyrovnání plátků a podporu plátků, čímž se minimalizuje pravděpodobnost jakýchkoli mikroškrábanců nebo prasklin způsobených napětím během nakládání, zpracování a vykládání. Také, pokud je pro konkrétní proces požadována vynikající rovnoměrnost teploty a/nebo menší tepelná hmotnost, mohou být do konfigurací vertikálních člunů SiC začleněny optimalizované geometrie a návrhy štěrbin, aniž by došlo k obětování jakýchkoli mechanických vlastností.

Další výhodou je údržba a efektivita provozu. Pevná konstrukce zSiCVertical Boats zkracuje dobu a frekvenci výměny, čímž minimalizuje prostoje nebo náklady na vlastnictví. Odolnost SiC proti tepelným šokům umožňuje kratší cykly ohřevu a chlazení, aby byla zajištěna vyšší propustnost na výrobních linkách. Údržba nebo čištění SiC Vertical Boats je také velmi jednoduché; materiál vydrží většinu konvenčních procesů mokrého nebo suchého čištění běžných v polovodičových továrnách, jako je chemické čištění kyselinami a vysokoteplotní vypalování.

V této moderní době sofistikované výroby polovodičů, kde je důležité zlepšit výtěžnost, kontrola kontaminace a stabilita v procesu, nabízejí vertikální lodě SiC skutečnou technologickou výhodu. Dobře se vyrovnávají s fyzikálními a chemickými výzvami aplikací vertikálních pecí a přispívají k celkové optimalizaci procesu poskytováním integrity plátků, konzistentních výsledků a delší životnosti zařízení.