Křemíkové karbidové lodě

Stimicorex Silicon Carbide Boats vykazují výjimečnou tepelnou stabilitu, což jim umožňuje odolat extrémních teplotách potřebných pro oxidační a difúzní procesy. Jejich vynikající odolnost proti tepelnému šoku minimalizuje riziko praskání nebo deformace, což zajišťuje dlouhodobou provozní dlouhověkost. Složení SIC s vysokou hustotou poskytuje vynikající mechanickou sílu a udržuje strukturální integritu i při kontinuálním tepelném cyklování. Tato výjimečná odolnost vůči mechanickému stresu snižuje pravděpodobnost kontaminace a rozbití oplatky a přispívá k vyššímu výnosu procesu. Kromě toho mají SIC lodě vynikající chemickou odolnost, zbývající inertní vůči agresivním procesům používaným v oxidačních a difúzních krocích. Tato charakteristika zabraňuje nežádoucím reakcím, které by mohly ohrozit čistotu a účinnost produkce.

Křešivé karbidové lodě se primárně používají v oxidačních a difúzních pecích, kde je nezbytná přesná kontrola nad vystavením oplatky vysokým teplotám a reaktivním plynům. Podporují oplatky během tepelné oxidace za účelem růstu vysoce kvalitních vrstev oxidu křemičitého a usnadňují rovnoměrné doping prostřednictvím kontrolované expozice dopantským plynům. Kromě toho poskytují stabilní platformu pro žíhání a další ošetření vysokých teplot, které vyžadují prodloužené expozici tepla.

Ve srovnání s tradičními křemennými a grafitovými loděmi nabízejí lodě karbidu křemíku bezkonkurenční odolnost, dlouhověkost a výkon. Jejich schopnost odolat tvrdému tepelnému a chemickému prostředí při minimalizaci kontaminace z nich činí preferovanou volbu pro vysoce přesnou polovodičovou výrobu. Se zaměřením na kvalitu a inovace poskytují naše lodě na karbidu křemíku vynikající výkon, zajišťují vysoké výnosy a efektivní zpracování oplatky pro výrobce polovodičů po celém světě. Ať už pro pokročilé technologie uzlů nebo dědictví polovodičové výroby, tyto lodě poskytují spolehlivé řešení pro splnění přísných průmyslových požadavků.

(1) Nosnost a ochrana: Křešivé karbidové lodě nesou polovodičové materiály, jako jsou oplatky, skrz své vnitřní držáky nebo sloty a používají vysokou teplotu a odolnost materiálů karbidu křemíku k ochraně oplatků před vnějším prostředím.

(2) Jednotné vytápění: Karbidová loď křemíku umožňuje, aby se oplamy uvnitř zahřívaly během procesu tepelného zpracování rovnoměrně. To pomáhá zajistit, aby teplota a reakční rychlost každé části oplatky zůstala konzistentní během procesu tepelného zpracování, čímž se zlepšila výnos a kvalitu oplatky.

V současné době existují tři hlavní typyKeramika karbidu křemíkuMateriály: Reakce slinování, slinování bez tlaku a rekrystalizační slinování. Ve většině aplikací je reakční sinizovaný křemíkový karbid vhodným a nákladově efektivnějším produktem. Rekrystalizované čluny SIC obvykle posilovaly a nejprve zpracovávají několik částí jednotkových částí, poté pomocí Paste SI kombinujte díly do lodi při vysoké teplotě a nakonec aplikujte povlak CVD-SIC (asi 100um). Vzhledem k tomu, že rekrystalizace je porézní, pokud nedochází k nátěru SIC, zavede také partiky do polovodičového procesu. Tento typ rekrystalizované lodi SIC s CVD-SIC povlakem má nejdelší výrobní proces a je velmi drahý. Ve srovnání s grafitovými loděmi potaženými SIC nemají rekrystalizované SIC lodě potažené CVD-SIC žádný problém s nesouladem CTE.