Konzolová pádla z karbidu křemíku

Konzolová pádla z karbidu křemíku Semicorex se obvykle používají s horizontálními čluny na oplatky ve vysokoteplotních pecích. Mohou zajistit precizní a hladký přenos waferových člunů do a z trubek pece a poskytují silnou podporu pro stabilitu a výnos výroby polovodičů. Konzolové lopatky Semicorex z karbidu křemíku, speciálně navržené pro vysokoteplotní zpracování plátků, fungují stabilně při teplotě kolem 1250 °C v drsné pracovní atmosféře složené z kyslíku (reakční plyn), dusíku (ochranný plyn) a malého množství chlorovodíku.

Výběr materiálu vysokého standardu

Prémiové produkty se spoléhají na kvalitní suroviny. Semicorex používá vysoce čistou surovinu z karbidu křemíku, aby zajistila, že naše konzolová pádla z karbidu křemíku budou nejvyšší kvality v celém odvětví. Jejich základny jsou vyrobeny z vysoce kvalitního reakčního karbidu křemíku s obsahem nečistot kontrolovaným pod 100 ppm a jejich povrchy jsou pokryty CVD SiC povlakem, kde se nečistoty udržují pod 1 ppm. Tento vysoce standardní materiál tvořící konzolová pádla Semicorex z karbidu křemíku poskytuje vynikající vlastnosti uvedené níže.

1. Ultra vysoká čistota:Semicorexkarbid křemíkuKonzolové lopatky se vyznačují vysokou čistotou a během provozu neuvolňují nežádoucí nečistoty, což zásadně eliminuje kontaminaci plátků a zpracovatelských pecí.

2. Stabilní tepelná stabilita:Konzolové lopatky z karbidu křemíku Semicorex fungují spolehlivě při 1250 °C a vydrží prudké změny teploty při vstupu a výstupu z pece, bez jakékoli deformace nebo prasknutí.

3. Vynikající mechanická pevnost:Konzolová pádla z karbidu křemíku Semicorex se mohou pochlubit vysokou tvrdostí a pevností a vydrží opotřebení a poškrábání při častém tlačení a tahání.

4. Spolehlivá odolnost proti korozi:Semicorexkonzolová pádla z karbidu křemíkudíky své pozoruhodné chemické stabilitě vydrží silnou korozi silnými alkáliemi a kyselinami.

Pečlivý design a přesné obrábění

Semicorexvyužívá integrovanou technologii 3D tisku k výrobě konzolových lopatek z karbidu křemíku, což jim umožňuje zbavit se slabých napěťových bodů ve spojích a poskytuje spolehlivou nosnost během provozu. Podporuje také plnorozměrné přizpůsobení konzolových pádel z karbidu křemíku. Konzolové lopatky mohou být přesně přizpůsobeny na délku, strukturu a specifikaci rozhraní a jsou k dispozici tak, aby dokonale odpovídaly průměrům trubek pece, rozměrům waferových člunů, automatizovaným nakládacím systémům a specifickým procesním požadavkům.