Kazetové čluny z karbidu křemíku

Semicorexkazetové čluny z karbidu křemíkujsou nepostradatelné nosné komponenty se svou stabilní a vysoce pevnou strukturou, které bezpečně a přesně drží, přenášejí a manipulují s více polovodičovými destičkami. Jsou široce používány v různých vysokoteplotních polovodičových procesech k zajištění optimalizované distribuce tepla a toku plynu pro konzistentní výsledky zpracování.

Pečlivě vybraná surovina

Kazetové čluny Semicorex z karbidu křemíku, přesně vyrobené z prášku karbidu křemíku polovodičové kvality vysokoteplotním slinováním, mají následující vynikající vlastnosti.

1. Ultra vysoká čistota:Obsah nečistot v substrátu je řízen tak, aby byl pod 100 PPM, a úroveň nečistotCVD karbid křemíkupovlak může dosáhnout méně než 1 PPM.

2. Spolehlivá odolnost proti korozi:Keramika z karbidu křemíku poskytuje silnou odolnost proti korozi a je odolná vůči korozi způsobené většinou kyselin (jako je kyselina chlorovodíková, kyselina sírová a kyselina fluorovodíková), zásadami (jako je hydroxid sodný), rozpouštědly a oxidačními médii.

3. Výjimečná kapacita tepelného managementu:Díky výjimečné tepelné odolnosti a nízkému koeficientu tepelné roztažnosti si kazetové čluny z karbidu křemíku mohou zachovat své chemické vlastnosti a mechanickou pevnost, i když jsou vystaveny dlouhodobým provozním podmínkám při vysoké teplotě kolem 1250 °C.

Precizně navržená struktura

1. Horizontální rámová konstrukce:Horizontální rámová konstrukce kazetových člunů Semicorex z karbidu křemíku umožňuje, aby dokonale pasovaly do horizontálních vysokoteplotních pecí.

2. Rovnoměrně rozmístěné zářezy:Díky četným rovnoměrně rozmístěným zářezům mohou kazetové čluny Semicorex z karbidu křemíku pevně držet destičku na místě, což může významně zabránit nežádoucímu poškrábání, oděru a poškození způsobenému posunutím destičky, a tím účinně zajistit stabilitu polovodičového procesu a výtěžnost destičky.

3. Víceslotový design:Více slotů navržených pro nesení více waferů umožňuje kazetovým člunům z karbidu křemíku Semicorex zlepšit jejich propustnost jednodávkového zpracování a celkovou efektivitu výroby.

4. Otevřená architektura:Kazetové čluny Semicorex z karbidu křemíku jsou vybaveny promyšlenou otevřenou architekturou, která může pomoci dosáhnout rovnoměrné distribuce plynu a dostatečného reakčního kontaktu, což efektivně minimalizuje nekonzistentní výsledky procesu.