Silikonový nosič

Semicorex poskytuje keramiku polovodičové kvality pro vaše nástroje pro polovýrobu OEM a komponenty pro manipulaci s destičkami se zaměřením na vrstvy karbidu křemíku v polovodičovém průmyslu. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem Silicon Wafer Carrier. Náš nosič Silicon Wafer Carrier má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Procesy depozice polovodičů využívají kombinaci těkavých prekurzorových plynů, plazmy a vysoké teploty k nanášení vysoce kvalitních tenkých filmů na destičky. Depoziční komory a nástroje pro manipulaci s plátky potřebují odolné keramické součásti, aby obstály v těchto náročných prostředích.
Semicorex Silicon Wafer Carrier je vysoce čistý karbid křemíku, který má vysokou odolnost proti korozi a teplu a také vynikající tepelnou vodivost.

Parametry křemíkového nosiče

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Název materiálu		Reakce Slinutý karbid křemíku	Beztlakový slinutý karbid křemíku	Rekrystalizovaný karbid křemíku
Složení		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnost v ohybu	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnost v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdost	Tlačítko	2700	2800	/
Prolomení houževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivost	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelné roztažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximální teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Elastický modul	Gpa	360	410	240

Rozdíl mezi SSiC a RBSiC:

1. Proces slinování je odlišný. RBSiC má infiltrovat volný Si do karbidu křemíku při nízké teplotě, SSiC vzniká přirozeným smrštěním při 2100 stupních.

2. SSiC mají hladší povrch, vyšší hustotu a vyšší pevnost, pro některá těsnění s přísnějšími požadavky na povrch bude SSiC lepší.

3. Různá doba použití při různém PH a teplotě, SSiC je delší než RBSiC

Vlastnosti Silicon Wafer Carrier

Vysoce čistý grafit potažený SiC
Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
Jemný krystal SiC potažený pro hladký povrch
Vysoká odolnost proti chemickému čištění
Materiál je navržen tak, aby nedocházelo k prasklinám a delaminaci.

Dostupné tvary keramiky z karbidu křemíku：

● Keramická tyč / keramický kolík / keramický píst

● Keramická trubice / keramické pouzdro / keramické pouzdro

● Keramický kroužek / keramická podložka / keramická distanční vložka

● Keramický disk

● Keramická deska / keramický blok

● Keramická koule

● Keramický píst

● Keramická tryska

● Keramický kelímek

● Další zakázkové keramické díly