Keramika z karbidu křemíkulopatky jsou typicky instalovány v blízkosti otvoru pece nebo procesní komory, přičemž jeden konec je upevněn a druhý konec zasahuje do pece nebo procesní komory. Během provozního zpracování keramické lopatky z karbidu křemíku přesně umístí nosič destiček nesoucí destičky na určené místo uvnitř pece nebo procesní komory. Konzolová lopatky po zpracování vyzvednou nosič a vysunou jej z pece nebo komory a předají robotickému ramenu k další fázi manipulace.

Výhody keramických lopatek Semicorex z karbidu křemíku

1. Vynikající vlastnosti a spolehlivá kvalita

Keramické lopatky Semicorex z karbidu křemíku poskytují vynikající stabilitu při vysokých teplotách, vysokou pevnost, vysokou tvrdost, chemickou stabilitu a nízký koeficient tepelné roztažnosti. Díky těmto vynikajícím vlastnostem mohou keramické lopatky Semicorex z karbidu křemíku dlouhodobě odolávat náročným provozním podmínkám, jako jsou vysoké teploty, silná koroze, velké zatížení a časté mechanické operace.

2. Přesná podpora a přeprava

Semicorex se spoléhá na vynikající nosný a transportní výkonkeramické lopatky z karbidu křemíkumůže přesně upevnit nosiče plátků na místě, aby byla zajištěna soustřednost plátků vzhledem k trubkám pece, což významně snižuje nekonzistenci procesu způsobenou třesením plátků a nesouosostí během procesu.

3. Vysoce účinný automatický provoz

Keramické lopatky Semicorex z karbidu křemíku obvykle pracují ve spojení s robotickými automatizovanými nakládacími a manipulačními systémy, aby bylo dosaženo rychlého nakládání a vyjímání plátků. To výrazně zkracuje procesní cykly ve výrobě polovodičů a fotovoltaiky, zlepšuje efektivitu výroby a snižuje náklady na ruční obsluhu a rizika chyb.

Aplikace keramických lopatek Semicorex z karbidu křemíku

1. Výroba fotovoltaických článků

Keramické lopatky z karbidu křemíku Semicorex jsou vhodné pro tepelné procesy fotovoltaických článků, jako je difúze, LPCVD a PECVD článků TOPCon a PERC. Dosažením stejnoměrnosti a stability procesu tyto lopatky přispívají ke zlepšení účinnosti konverze fotovoltaických článků.

2. Výroba polovodičových čipů

Keramické lopatky Semicorex z karbidu křemíku, které jsou základními nosnými a transportními součástmi, jsou široce používány v procesech, jako je litografie, leptání a nanášení při výrobě polovodičových čipů, což umožňuje trvale stabilní přenos a přesné umístění destiček.