Keramický člun z karbidu křemíku

Semicorex nabízí čluny, podstavce a vlastní nosiče destiček pro vertikální / sloupcové i horizontální konfigurace. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem povlaků z karbidu křemíku. Náš keramický člun z karbidu křemíku má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex keramický plátek z karbidu křemíku, dokonalé řešení pro manipulaci a ochranu plátků při výrobě polovodičů.
Náš keramický člun z karbidu křemíku je vyroben z vysoce kvalitního materiálu potaženého vrstvou karbidu křemíku (SiC) metodou CVD, které mají dobrou odolnost proti korozi a vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a teplotním šokům. Pokročilá keramika poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvanlivost plazmatu a zároveň snižuje množství částic a kontaminantů pro vysokokapacitní nosiče plátků.

Parametry keramické destičky z karbidu křemíku

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Název materiálu		Reakce Slinutý karbid křemíku	Beztlakový slinutý karbid křemíku	Rekrystalizovaný karbid křemíku
Složení		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnost v ohybu	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnost v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdost	Knoop	2700	2800	/
Prolomení houževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivost	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelné roztažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximální teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Elastický modul	Gpa	360	410	240

Rozdíl mezi SSiC a RBSiC:

1. Proces slinování je odlišný. RBSiC má infiltrovat volný Si do karbidu křemíku při nízké teplotě, SSiC vzniká přirozeným smrštěním při 2100 stupních.

2. SSiC mají hladší povrch, vyšší hustotu a vyšší pevnost, pro některá těsnění s přísnějšími požadavky na povrch bude SSiC lepší.

3. Různá doba použití při různém PH a teplotě, SSiC je delší než RBSiC

Vlastnosti keramického člunu z karbidu křemíku

Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
Jemný krystal SiC potažený pro hladký povrch
Vysoká odolnost proti chemickému čištění
Materiál je navržen tak, aby nedocházelo k prasklinám a delaminaci.