Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.
Vysoce čisté keramické komponenty SiC jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od spotřebních dílů pro zařízení na zpracování plátků, jako je člun z karbidu křemíku, konzolová pádla, trubice atd. pro epitaxi nebo MOCVD.
Výhody pro polovodičové procesy
Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistá konstrukce karbidu křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.
Víka komor →
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.
Konzolové pádlo →
Cantilever Paddle je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích během procesů, jako je difúze a RTP.
Procesní trubice →
Process Tube je klíčová součást, speciálně navržená pro různé aplikace zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze.
Oplatkové čluny →
Wafer Boat se používá při zpracování polovodičů a byl pečlivě navržen tak, aby zajistil, že jemné oplatky budou během kritických fází výroby v bezpečí.
Vstupní kroužky →
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Zaostřovací kroužek →
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Wafer Chuck →
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.
Semicorex má také keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu křemíku (Si3N4), nitridu hliníku (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitní keramiky atd.
Semicorex poskytuje keramiku polovodičové kvality pro vaše nástroje pro polovýrobu OEM a komponenty pro manipulaci s destičkami. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem povlaků z karbidu křemíku. Naše pouzdro SiC Axle Sleeve má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazPokročilé, vysoce čisté komponenty potažené karbidem křemíku Semicorex jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v procesu manipulace s plátky. Náš Semiconductor Wafer Chuck má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazUltračisté keramické komponenty Semicorex, ideální pro litografii nové generace a aplikace pro manipulaci s destičkami, zajišťují minimální kontaminaci a poskytují výjimečně dlouhou životnost. Naše vakuové sklíčidlo na oplatky má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazOdolné zaostřovací kroužky Semicorex pro zpracování polovodičů jsou navrženy tak, aby vydržely extrémní prostředí plazmových leptacích komor používaných při zpracování polovodičů. Naše ohniskové kroužky jsou vyrobeny z vysoce čistého grafitu potaženého hustým povlakem z karbidu křemíku (SiC) odolným proti opotřebení. Povlak SiC má vysokou odolnost proti korozi a teplu, stejně jako vynikající tepelnou vodivost. SiC nanášíme v tenkých vrstvách na grafit pomocí procesu chemického napařování (CVD), abychom zlepšili životnost našich fokusačních kroužků.
Přečtěte si víceOdeslat dotazZaostřovací kroužek pro plazmové zpracování Semicorex je speciálně navržen tak, aby splňoval vysoké požadavky na zpracování plazmového leptání v polovodičovém průmyslu. Naše pokročilé, vysoce čisté komponenty potažené karbidem křemíku jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí a jsou vhodné pro použití v různých aplikacích, včetně vrstev karbidu křemíku a epitaxních polovodičů.
Přečtěte si víceOdeslat dotazPokročilé, vysoce čisté kroužky SiC Focus od společnosti Semicorex jsou vyrobeny tak, aby vydržely extrémní prostředí v komorách pro plazmové leptání (nebo suché leptání). Zaměřujeme se na polovodičový průmysl, jako jsou vrstvy karbidu křemíku a epitaxní polovodiče. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz