Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.
Vysoce čisté keramické komponenty SiC jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od spotřebních dílů pro zařízení na zpracování plátků, jako je člun z karbidu křemíku, konzolová pádla, trubice atd. pro epitaxi nebo MOCVD.
Výhody pro polovodičové procesy
Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistá konstrukce karbidu křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.
Víka komor →
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.
Konzolové pádlo →
Cantilever Paddle je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích během procesů, jako je difúze a RTP.
Procesní trubice →
Process Tube je klíčová součást, speciálně navržená pro různé aplikace zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze.
Oplatkové čluny →
Wafer Boat se používá při zpracování polovodičů a byl pečlivě navržen tak, aby zajistil, že jemné oplatky budou během kritických fází výroby v bezpečí.
Vstupní kroužky →
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Zaostřovací kroužek →
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Wafer Chuck →
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.
Semicorex má také keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu křemíku (Si3N4), nitridu hliníku (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitní keramiky atd.
Semicorex hliníkové nitridové izolační kroužky jsou nepostradatelnými součástmi v pokročilé výrobě polovodičů, zejména v procesech vysokofrekvenčního tepelného zpracování. Jejich jedinečná kombinace vysokoteplotní stability, vynikajících těsnících vlastností, výjimečné tepelné vodivosti a vlastní odolnosti je činí nezbytnými pro zajištění přesného řízení procesu, vysoké výtěžnosti zařízení a prodloužené životnosti zařízení v náročném prostředí výroby polovodičů. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávání vysoce výkonných nitridových izolačních kroužků z hliníku, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**
Přečtěte si víceOdeslat dotazElektrostatická sklíčidla Semicorex Aluminium Nitride nabízejí přesvědčivou kombinaci vlastností, díky kterým jsou ideálně vhodné pro náročné požadavky na zpracování polovodičových destiček. Jejich schopnost zajistit bezpečné a rovnoměrné upínání plátků, vynikající tepelné řízení a odolnost vůči drsným zpracovatelským prostředím se promítá do zlepšeného výkonu zařízení, vyšších výnosů a snížení výrobních nákladů. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávání vysoce výkonných elektrostatických sklíčidel z nitridu hliníku, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**
Přečtěte si víceOdeslat dotazSklíčidla Semicorex SiC Wafer Inspection jsou kritickým prostředkem pro pokročilou výrobu polovodičů, řeší rostoucí požadavky na přesnost, čistotu a propustnost. Jejich vynikající materiálové vlastnosti se promítají do hmatatelných výhod v celém procesu výroby plátků, což v konečném důsledku přispívá k vyšším výnosům, zlepšenému výkonu zařízení a nižším celkovým výrobním nákladům. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávání vysoce výkonných inspekčních sklíčidel SiC Wafer, která spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, také známé jako keramické robotické rameno pro manipulaci s destičkami nebo vidlice pro manipulaci s keramickou silikonovou destičkou, je vysoce výkonná součást polovodičového zařízení. Jeho konstrukce zohledňuje přísné požadavky výroby polovodičů. Díky vysoké teplotní odolnosti, odolnosti proti opotřebení, chemické stabilitě a vynikajícím elektrickým izolačním vlastnostem hraje keramické rameno z oxidu hlinitého nezastupitelnou roli v globálním průmyslu výroby polovodičů. My v Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonného Alumina Ceramic Robotic Arm, které spojuje kvalitu s nákladovou efektivitou.**
Přečtěte si víceOdeslat dotazPokročilé materiálové vlastnosti Semicorex SiC difúzní pecní trubice, včetně vysoké pevnosti v ohybu, vynikající odolnosti proti oxidaci a korozi, vysoké odolnosti proti opotřebení, nízkého koeficientu tření, vynikajících vysokoteplotních mechanických vlastností a ultra vysoké čistoty, ji činí nepostradatelnou v polovodičovém průmyslu. , zejména pro aplikace v difuzních pecích. My v Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných SiC difúzních pecních trubek, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**
Přečtěte si víceOdeslat dotazS vysoce kvalitními materiálovými vlastnostmi představuje Semicorex SiC Diffusion Boat optimální funkčnost v širokém spektru provozních parametrů: tvrdost, odolnost a tepelná a chemická odolnost atd. Tato volba materiálu je zásadní pro snížení rizik kontaminace, ochranu plátků a odolnost náročné podmínky v procesech výroby polovodičů. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných difuzních člunů SiC, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**
Přečtěte si víceOdeslat dotaz