Čína Keramický Výrobci, dodavatelé, továrna

Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.

Vysoce čisté keramické komponenty SiC jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od spotřebních dílů pro zařízení na zpracování plátků, jako je člun z karbidu křemíku, konzolová pádla, trubice atd. pro epitaxi nebo MOCVD.

Výhody pro polovodičové procesy

Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistá konstrukce karbidu křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.

Víka komor →
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.

Konzolové pádlo →
Cantilever Paddle je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích během procesů, jako je difúze a RTP.

Procesní trubice →
Process Tube je klíčová součást, speciálně navržená pro různé aplikace zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze.

Oplatkové čluny →
Wafer Boat se používá při zpracování polovodičů a byl pečlivě navržen tak, aby zajistil, že jemné oplatky budou během kritických fází výroby v bezpečí.

Vstupní kroužky →
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.

Zaostřovací kroužek →
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.

Oplatka Chuck →
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.

Semicorex má také keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu křemíku (Si3N4), nitridu hliníku (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitní keramiky atd.