ICP leptací deska z karbidu křemíku

ICP leptací deska z karbidu křemíkuje kompetentní v poskytování stabilní podpory a přesného umístění plátků při operacích leptání, čímž účinně zabraňuje snížení přesnosti leptání způsobenému vibracemi nebo posunutím.

Leptací deska ICP z karbidu křemíku má schopnosti tepelného managementu. Vynikající tepelná vodivostSIC keramikadává leptací desce ICP z karbidu křemíku schopnost rychle odvádět teplo, což pomáhá předcházet místnímu přehřátí obrobku a zajišťuje rovnoměrnost teploty leptání, čímž zlepšuje kvalitu leptání. SiC keramika má nízký koeficient tepelné roztažnosti, což umožňuje leptací desce ICP z karbidu křemíku udržovat dobrou rozměrovou stabilitu a snižovat posun nebo deformaci obrobku způsobenou tepelnou roztažností.

ICP leptací deska z karbidu křemíku, spoléhající na svou vynikající tvrdost a pevnost, vykazuje schopnost tolerovat mechanické namáhání a plazmový dopad, ke kterému dochází během procesu leptání, s minimální deformací nebo poškozením. Tato schopnost účinně zlepšuje výtěžnost a efektivitu výroby polovodičových součástek.

Provozní prostředí ICP vyžaduje čistotu na úrovni polovodičů. ICP leptací deska z karbidu křemíku společnosti Semicorex dokáže tento požadavek plně splnit a poskytuje výjimečnou odolnost vůči chemickým plynům (jako je chlór a fluor) a plazmatu v prostředí ICP leptání. Tato významná vlastnost udržuje procesní prostředí čisté snížením množství kontaminantů uvolňovaných během leptacích operací.

Semicorex upřednostňuje uživatelské pohodlí a nabízí přizpůsobené designy ICP leptací desky z karbidu křemíku, které se hladce integrují se stávajícími ICP leptacími systémy a jsou kompatibilní s různými konfiguracemi. To umožňuje hladký přechod, což z něj činí ideální řešení upgradu pro výrobce zařízení.