Procesní trubice z karbidu křemíku

Semicorex Silicon Carbide Process Tube je klíčovou součástí v oblasti výroby polovodičů, speciálně navržených pro použití ve vertikálních pecích používaných v různých aplikacích zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze. Tato specializovaná trubice hraje klíčovou roli při usnadňování řízeného a přesného tepelného zpracování polovodičových destiček během jejich cesty kritickými výrobními procesy.

Tato procesní trubice z karbidu křemíku, vyrobená z vysoce čistého karbidu křemíku, vykazuje výjimečnou tepelnou vodivost, odolnost vůči extrémním teplotám a vynikající mechanickou pevnost. Jeho jedinečné vlastnosti materiálu z něj činí ideální volbu pro aplikace vyžadující zvýšené teploty a drsná chemická prostředí, se kterými se běžně setkáváme při zpracování polovodičů.

Ve vertikální peci poskytuje procesní trubice z karbidu křemíku ochrannou a řízenou atmosféru pro polovodičové destičky, když procházejí procesy, jako je RTP. RTP zahrnuje rychlé cykly zahřívání a ochlazování nezbytné pro aktivaci dopantů, žíhání a další tepelné úpravy, které jsou klíčové pro výrobu polovodičových součástek. Robustní charakter procesní trubice z karbidu křemíku zajišťuje dlouhou životnost a spolehlivost v tak náročných tepelných a chemických prostředích, což přispívá k celkové účinnosti a přesnosti procesu výroby polovodičů.