TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametry |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdost (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500â |
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
Tloušťka povlaku |
⥠20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Parts jsou precizně vyrobené komponenty, které jsou speciálně navrženy tak, aby obstály v náročném prostředí zpracování polovodičů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Graphite Cover představuje špičkové řešení v oblasti tepelných aplikací pro růst krystalů a epitaxní (epi) procesy. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Ring stojí jako klíčová součást v oblasti růstu monokrystalů v tepelném poli. Tento specializovaný vodicí kroužek, vyrobený s přesností a inovací, hraje klíčovou roli ve složitém procesu výroby monokrystalických materiálů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor je klíčovou komponentou používanou v pecích metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) pro epitaxní (epi) zpracování polovodičů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate je špičkové řešení navržené pro splnění přísných požadavků výroby polovodičů, zejména ve fázi epitaxního (epi) zpracování. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Guide Ring, vrchol inovací v SiC (karbid křemíku) monokrystalických růstových pecích. Tento vodicí kroužek, pečlivě navržený tak, aby splňoval náročné požadavky polovodičového průmyslu, slibuje předefinování vašich procesů růstu krystalů s bezkonkurenční přesností a spolehlivostí.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz