TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametry |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdost (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
Tloušťka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck je vysoce výkonný komponent navržený pro přesnou manipulaci s destičkami a vysokoteplotní procesy při výrobě polovodičů. Vyberte si Semicorex pro jeho inovativní, odolné produkty, které zajišťují optimální výkon a dlouhou životnost v náročných polovodičových aplikacích.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC kroužek je vysoce výkonný komponent určený pro růst monokrystalů SiC, zajišťující optimální distribuci průtoku plynu a kontrolu teploty. Vyberte si Semicorex pro naši odbornost v oblasti pokročilých materiálů a přesného inženýrství, která poskytuje odolná a spolehlivá řešení, která zvyšují efektivitu a kvalitu vašich polovodičových procesů.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Tantalum Carbide Part je grafitová součást potažená TaC navržená pro vysoce výkonné použití v aplikacích pro růst krystalů karbidu křemíku (SiC), nabízí vynikající teplotní a chemickou odolnost. Vyberte si Semicorex pro spolehlivé, vysoce kvalitní komponenty, které zvyšují kvalitu krystalů a efektivitu výroby při výrobě polovodičů.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazKroužky z karbidu tantalu Semicorex jsou kritickými součástmi používanými v pokročilých procesech výroby polovodičů. Ve společnosti Semicorex, známí pro svou výjimečnou tvrdost, vysoký bod tání a chemickou inertnost, jsme odhodláni dodávat produkty, které splňují nejvyšší standardy kvality a výkonu a zajišťují, že naši klienti zůstanou v popředí inovací v polovodičovém průmyslu.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor je grafitová miska potažená karbidem tantalu, která se používá při epitaxním růstu karbidu křemíku pro zvýšení kvality a výkonu destičky. Vyberte si Semicorex pro jeho pokročilou technologii povrchové úpravy a odolná řešení, která zajišťují vynikající výsledky epitaxe SiC a prodlouženou životnost susceptorů.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazVodicí kroužky povlaku TaC jsou grafitové kroužky s povlakem z karbidu tantalu, určené pro použití v pecích pro růst krystalů karbidu křemíku pro zvýšení kvality krystalů. Vyberte si Semicorex pro jeho pokročilou technologii povrchové úpravy, která zajišťuje vynikající odolnost, tepelnou stabilitu a optimalizovaný růst krystalů.*
Přečtěte si víceOdeslat dotaz