TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametry |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdost (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
Tloušťka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coating Guide Ring slouží jako prvořadá součást zařízení pro chemickou depozici z plynné fáze (MOCVD) a zajišťuje přesné a stabilní dodávání prekurzorových plynů během procesu epitaxního růstu. Vodicí kroužek povlaku TaC představuje řadu vlastností, díky kterým je ideální, aby odolal extrémním podmínkám v komoře reaktoru MOCVD.**
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Wafer Chuck představuje vrchol inovace v procesu epitaxe polovodičů, což je kritická fáze výroby polovodičů. S naším závazkem dodávat produkty nejvyšší kvality za konkurenceschopné ceny jsme připraveni být vaším dlouhodobým partnerem v Číně.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex MOCVD Susceptor s povlakem TaC je špičková součást pečlivě vytvořená pro optimální výkon v procesech epitaxe polovodičů v systémech MOCVD. Semicorex je neochvějný v našem závazku dodávat špičkové produkty za vysoce konkurenční ceny. Jsme dychtiví navázat s vámi v Číně trvalé partnerství.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex CVD TaC Coated Ring kraluje jako kritická součást při zpracování polovodičů a symbolizuje zenit moderního materiálového inženýrství. Tento prsten, vytvořený pro implementaci v nejpřísnějších prostředích, kde vládne nejvyšší přesnost a spolehlivost, ztělesňuje spojení špičkových technik povlakování s vědou o odolných materiálech. Semicorex vytrvale dodává špičkové produkty za konkurenceschopné ceny a netrpělivě očekáváme navázání dlouhodobého partnerství s vámi v Číně.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor je vysoce specializovaná součást navržená pro použití v epitaxních procesech výroby polovodičů. Semicorex se zaměřuje na poskytování vysoce kvalitních produktů za konkurenceschopné ceny. Těšíme se na navázání dlouhodobého partnerství s vámi v Číně.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring je pokročilá součást speciálně navržená pro polovodičový průmysl, která hraje klíčovou roli při růstu krystalů karbidu křemíku (SiC). Tento produkt je navržen tak, aby splňoval přísné požadavky prostředí s vysokou teplotou a vysokým namáháním, které je vlastní procesům růstu polovodičových krystalů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně*.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz