TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametry |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdost (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
Tloušťka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Těsnící kroužek s povlakem Semicorex TaC aplikovaný na těsnicí součásti poskytuje výjimečné výkonnostní výhody v náročných prostředích výroby polovodičů. TaC povlak řeší kritické problémy související s chemickou odolností, extrémními teplotami a mechanickým opotřebením, umožňuje vyšší výtěžnost procesu, delší dobu provozuschopnosti zařízení a v konečném důsledku nižší výrobní náklady. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných těsnicích kroužků potažených TaC, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor je kritickou komponentou, která hraje klíčovou roli v nanášecích procesech nezbytných pro vytváření polovodičových waferů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně*.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex Tantalum Carbide Chuck je pokročilá součástka používaná v zařízeních pro výrobu polovodičů, známá pro své výjimečné tepelné a mechanické vlastnosti. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně*.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Ring představuje kritickou součást, která splňuje tyto náročné požadavky. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně*.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSprchová hlavice s povlakem Semicorex TaC je nedílnou součástí procesu chemického nanášení par a poskytuje bezkonkurenční výkon a dlouhou životnost. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně*.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSklíčidlo s povlakem Semicorex TaC představuje významný pokrok v oblasti výroby polovodičů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně*.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz