Vakuové sklíčivo

Polokorexové vakuové upínače jsou přesnost inženýrskými řešeními určená k zajištění bezpečného, ​​stabilního a efektivního manipulace s oplatky v polovodičových výrobních procesech. Tyto vakuové upínače se používají hlavně pro držení oplatků v různých fázích zpracování, což zajišťuje minimální poškození oplatků, maximální stabilitu a zvýšenou účinnost procesu. Naše vakuové upínače jsou k dispozici v různých základních materiálech a keramických destičkách a nabízejí řešení přizpůsobených tak, aby vyhovovaly různým potřebám polovodičového průmyslu a dalších přesných průmyslových odvětví.

Klíčové funkce a materiály

Semicorex nabízí řadu možností základního materiálu pro vakuové sklíčivo, což umožňuje přizpůsobení na základě konkrétních požadavků na aplikaci:

Základní materiály:

• SUS430: Základní materiál z nerezové oceli známý pro svou odolnost vůči síle a korozi, což poskytuje vynikající mechanickou stabilitu.
• Hliníková slitina 6061: Tato hliníková základna lehká, ale silná, nabízí vysokou odolnost proti korozi a je ideální pro aplikace, kde se hmotnost týká.
• Alumina keramika (99% alumina): nabízí vysokou tepelnou stabilitu a odolnost proti opotřebení. Je to vynikající volba pro vysoce přesné prostředí, kde je kritický tepelný odpor.
• Žula: Granite, známá pro svou rigiditu a vynikající vlastnosti tlumící vibrace, nabízí během manipulace s oplatkou vynikající stabilitu a přesnost.
• Keramika křemíkového karbidu (SIC): nabízí vysokou tvrdost, tepelnou vodivost a odolnost vůči chemické korozi. Je ideální pro vysokoteplotní a agresivní prostředí.

Keramické desky:

Alumina (al₂o₃): Alumina destičky jsou známé svými vysokými elektrickými izolačními vlastnostmi, odolností proti opotřebení a stabilitou vysoké teploty. Jsou vhodné pro prostředí, kde je zásadní minimální kontaminace a vysoký výkon.

Karbid z křemíku (SIC): Sic keramické desky poskytují výjimečnou tvrdost, vysokou tepelnou vodivost a stabilitu při zvýšených teplotách, což z nich činí ideální pro pokročilé procesy manipulace s oplatkou při výrobě polovodičů.

Přesnost rovinnosti a výběr materiálu

Rovná povrch Chucka je kritickým faktorem při zajišťování správných výsledků manipulace s oplatkou a optimálním výsledkem procesu. Volba materiálu ovlivňuje přesnost rovinnosti, jakož i celkovou hmotnost a tepelné vlastnosti vakuového sklíčidla.

Přesnost roviny:

Hliníková slitina 6061: Poskytuje vynikající rovinnost s přesností, což z něj dělá oblíbenou volbu pro méně náročné úkoly manipulace s oplatkou.

SUS430: Při nabídce solidní mechanické stability má SUS430 mírně nižší přesnost roviny než slitina hliníku.

Alumina keramika (99% alumina): nabízí nejlepší přesnost roviny díky své vysoké rozměrové stabilitě při vysokých teplotách a mechanickém napětí.

Žula: Granite, známá svou stabilitou, poskytuje přesnou rovinnost, zejména v prostředí citlivých na vibrace.

Silicon Carbide Ceramic: Poskytuje vynikající přesnost rovinnosti a je ideální pro manipulaci s vysokou přesností v aplikacích s vysokou teplotou.

Úvahy o váze

Hmotnost vakuového sklíčidla je dalším důležitým faktorem, zejména u aplikací, kde je klíčovým hlediskem sklíčidla snadná manipulace a manipulace.