Vertikální silikonový člun

Semicorex Vertical Silicon Boat je klíčovou součástí, zejména ve vysokoteplotních prostředích pro zpracování waferů. Tento produkt, navržený tak, aby držel křemíkové pláty svisle během procesů tepelného zpracování a difúze, zajišťuje optimální tepelnou rovnoměrnost, přesnou manipulaci a vynikající stabilitu, které jsou životně důležité pro dosažení konzistentní kvality plátků.

Klíčové aplikace v polovodičových procesech

Vertical Silicon Boat se primárně používá v procesech, jako je oxidace, žíhání, difúze a chemická depozice z plynné fáze (CVD). Během těchto kroků je rovnoměrné vystavení křemíkových plátků teplu a reaktivním plynům zásadní pro vytvoření kritických vrstev a struktur na povrchu plátku. Bezpečným držením plátků ve svislé orientaci usnadňuje silikonový člun rovnoměrné proudění plynu a rozložení teploty na všech plátcích, čímž snižuje riziko defektů a zlepšuje celkový výnos.

Oxidace a difúze:Vertical Silicon Boat hraje klíčovou roli v procesech vysokoteplotní oxidace a difúze. Tyto kroky vyžadují přesnou kontrolu nad průtokem plynu a teplotou pro vytvoření oxidových vrstev a zvlákňovacích plátků s nečistotami pro elektrickou vodivost. Konstrukce lodi zajišťuje jednotné vystavení a minimalizuje rizika kontaminace.

Žíhání:Během procesu žíhání jsou pláty podrobeny řízeným cyklům ohřevu a chlazení, aby se uvolnilo napětí, opravilo poškození nebo aktivovaly příměsi. Tepelná stabilita a vynikající mechanická pevnost silikonového člunu pomáhá udržovat integritu plátku během těchto náročných cyklů.

Procesy CVD a ALD:Pro procesy, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD) a depozice atomové vrstvy (ALD), které zahrnují tvorbu tenkých filmů na povrchu plátku, poskytuje Vertical Silicon Boat stabilní platformu pro konzistentní depozici materiálu. Jeho vysoce čisté složení minimalizuje kontaminaci částicemi, což je nezbytné pro dosažení vrstev bez defektů.

Vlastnosti a výhody

Vertical Silicon Boat nabízí řadu funkcí, díky kterým je nepostradatelný v pokročilé výrobě polovodičů:

• Vysoká tepelná stabilita: Loď je vyrobena z vysoce čistého křemíku nebo karbidu křemíku a je schopna odolat extrémním teplotám bez deformace nebo degradace. Tato vlastnost zajišťuje konzistentní výkon v rámci více procesních cyklů.
• Nízké riziko kontaminace: Použití vysoce čistých materiálů a pokročilých výrobních technik minimalizuje riziko tvorby částic nebo chemické kontaminace, což je kritické pro splnění přísných standardů polovodičového průmyslu.
• Optimalizovaná podpora waferů: Konstrukce člunu poskytuje přesnou a bezpečnou podporu pro křemíkové wafery a zabraňuje deformaci nebo sklouznutí během zpracování. Vertikální orientace zvyšuje dynamiku proudění plynu a zajišťuje jednotné zpracování všech plátků v dávce.
• Odolnost a dlouhá životnost: Vertical Silicon Boat, navržený pro opakované použití, nabízí výjimečnou odolnost proti tepelnému šoku, oxidaci a chemické korozi, čímž snižuje prostoje a náklady na výměnu.
• Přizpůsobitelnost: Rozměry lodi a kapacita plátků lze přizpůsobit tak, aby splňovaly specifické požadavky výroby, což umožňuje bezproblémovou integraci do různých systémů zpracování.

Semicorex Vertical Silicon Boat je základním kamenem moderní výroby polovodičů a nabízí bezkonkurenční výkon v aplikacích zpracování vysokoteplotních plátků. Jeho robustní design, vysoce čisté materiály a vynikající tepelná stabilita z něj činí preferovanou volbu pro výrobce, kteří chtějí dosáhnout přesnosti a efektivity svých operací. Díky optimalizaci manipulace a zpracování plátků hraje Vertical Silicon Boat klíčovou roli při výrobě špičkových polovodičových zařízení, která pohánějí dnešní technologické inovace.