Vertikální oplatkový člun

Semicorex Vertical Wafer Boat je speciálně navržený nosič pro více waferů, který maximalizuje prostorovou efektivitu ve zpracovatelských komorách. Tyto vertikální oplatkové čluny jsou typicky obdélníkového nebo válcového tvaru a každá loď má přesně zpracované štěrbiny nebo kapsy, které jsou rozmístěny tak, aby bezpečně držely jednotlivé wafery ve vzpřímené poloze. Vertical Wafer Boat jsou vyrobeny z karbidu křemíku (SiC), který poskytuje vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, korozivním chemikáliím a mechanickému namáhání, díky čemuž jsou ideální pro ochranu plátků před potenciálním poškozením.

Během výroby polovodičů podléhají destičky mnoha složitým procesům, včetně difúze, RTP a tepelných polí. Vertical Wafer Boat hraje zásadní roli při usnadňování těchto procesů tím, že slouží jako nosič pro wafery a umožňuje bezproblémový přenos mezi různými zařízeními a stupni. Jeho vertikální orientace minimalizuje stopu uvnitř zpracovatelských komor, optimalizuje průchodnost a umožňuje efektivní manipulaci s velkými dávkami waferů.

Semicorex Vertical Wafer Boat je základním kamenem zpracování polovodičů a poskytuje robustní a spolehlivé řešení pro bezpečnou manipulaci a přepravu destiček v různých fázích výroby. Jeho pokročilý design ve spojení s výjimečnými vlastnostmi SiC podtrhuje jeho klíčovou roli při výrobě špičkových polovodičových součástek.