Lodní nosič oplatek

Semicorex Wafer Boat Carrier je vyroben z grafitu, který je známý pro svůj výjimečný poměr pevnosti k hmotnosti a tepelnou vodivost. Pro zvýšení její odolnosti však každá nádoba prochází procesem CVD SiC povlaku. Tento povlak nejen posiluje člun proti drsnému zpracovatelskému prostředí, ale také jej chrání před chemickou korozí a tepelnými šoky, čímž zajišťuje dlouhou životnost a spolehlivost i v těch nejnáročnějších podmínkách.

Wafer Boat Carrier je navržen s pečlivou pozorností k detailu. Jeho struktura je optimalizována pro maximální účinnost a bezpečnost, s přesnými rozměry a pečlivě navrženými geometriemi, které zajišťují bezpečné a stabilní umístění jemných polovodičových destiček během zpracování. Tím se minimalizuje riziko poškození nebo kontaminace.

Wafer Boat Carrier je všestranné řešení, které lze přizpůsobit mnoha aplikacím. Může být použit při epitaxním růstu, chemické depozici par a dalších procesech výroby polovodičů. Díky své robustní konstrukci a chemické inertnosti je kompatibilní s širokou škálou procesních chemikálií a zajišťuje bezproblémovou integraci do různých zpracovatelských prostředí.