Oplatkový člun

Semicorex Wafer Boat je navržen tak, aby vydržel drsné podmínky difuzní pece, jako jsou vysoké teploty, korozivní prostředí a potřeba přesného umístění plátků během procesu difúze.

Wafer Boat je vyroben z keramiky z karbidu křemíku, vybrané pro své výjimečné vlastnosti. Karbid křemíku je známý svou vysokou tepelnou vodivostí, která zajišťuje rovnoměrné rozložení teploty na plátcích během difúze. Tato jednotnost je zásadní pro zachování integrity waferů a zajištění konzistentních úrovní dotování, které jsou nezbytné pro funkčnost vyráběných polovodičových součástek. Navíc vysoký bod tání a tepelná stabilita karbidu křemíku umožňují, aby Wafer Boat fungoval při zvýšených teplotách požadovaných při difúzních procesech, často přesahujících 1000 °C, bez degradace nebo deformace.

Jednou z klíčových výhod keramiky z karbidu křemíku ve Wafer Boat je její vynikající chemická odolnost. Tato odolnost je zvláště důležitá pro zachování čistoty polovodičových destiček, protože jakákoli kontaminace by mohla vést k defektům v konečném produktu, což by ohrozilo výkon integrovaných obvodů.

Strukturální integrita lodi Wafer Boat je dalším kritickým faktorem v její konstrukci. Konstrukce musí zajistit, že plátky jsou bezpečně drženy na místě s přesným rozestupem, aby bylo možné rovnoměrné vystavení reaktivním plynům. Tato přesnost je životně důležitá pro dosažení jednotného dopování na všech waferech, což přímo ovlivňuje elektrické vlastnosti polovodičových součástek.

Kromě svých tepelných a chemických vlastností nabízí keramika z karbidu křemíku vynikající rozměrovou stabilitu, která je rozhodující pro požadavky na vysokou přesnost výroby polovodičů. Tato stabilita zajišťuje, že destičky zůstanou dokonale vyrovnané, což umožňuje přesnou a rovnoměrnou difúzi příměsí po celém povrchu každé destičky, což vede k výrobě vysoce kvalitních polovodičových součástek.

Semicorex Wafer Boat vyrobený z keramiky z karbidu křemíku je nezbytnou součástí procesu difúze polovodičů. Jeho výjimečná tepelná vodivost, chemická odolnost, mechanická pevnost a rozměrová stálost jej činí ideálně vhodným pro náročné podmínky výroby polovodičů. Jeho použití nejen zvyšuje účinnost a spolehlivost procesu difúze, ale přispívá také k celkové hospodárnosti výroby polovodičů.