Oplatky lodí

Lodě Semicorex Wafer vyrobené z vysoce čistého křemíkového karbidu (SIC) jsou základními součástmi výroby polovodičů. Polovodičové procesy, ve kterých se používají, obvykle zahrnují vysokoteplotní a korozivní prostředí, jako je difúze, oxidace a LPCVD procesy. Aplikace lodí SIC destiček byla vytvořena tak, aby maximalizovala tepelnou stabilitu a chemickou odolnost, což umožnilo optimální podporu, vyrovnání a transport křemíkových destiček během zpracování pro optimální výnosy a výkon zařízení.

Karbid křemíku je dobře zdokumentován jako vynikající tepelně vodivá keramika, vykazuje vysokou mechanickou pevnost a vynikající odolnost proti tepelným šokům, oxidační odolnost a agresivní chemickou odolnost chemikáliemi, jako jsou HF a HC1. Vlastnosti SIC jsou obzvláště atraktivní jako materiál pro destičky pro procesy výroby polovodičů nové generace a ve vysokoteplotních prostředích. SIC destičky mohou udržovat strukturální integritu a rozměrovou stabilitu při procesních teplotách> 1500 ° C, což minimalizuje riziko deformace nebo kontaminace oplatků při kritických tepelných ošetřeních.

Každý sicoplatkaje vyroben z vysoce čistého SIC pomocí pokročilých keramických a slinovacích procesů a může být přizpůsoben pro rozsáhlý rozsah průměrů oplatky (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) a také konfigurace stohování, ať už vertikálních nebo vodorovných. Naše lodě SIC Wafer mají hladké povrchy a vynikající rovinnost, která minimalizuje tvorbu částic a je ideální pro automatizované systémy manipulace s oplatkou.

Kontrola a výnos kontaminace jsou dva z nejdůležitějších problémů v moderních Fabs. Čistota a spolehlivost nosičů SIC ovlivňují kvalitu produktu a výkonnost konzistence.  SIC destičky mají mnohem lepší dlouhověkost pro použití, mají méně požadavků na údržbu a nižší TCO než alternativy založené na křemenném nebo oxidu. Lepší dlouhověkost také znamená méně problémů s uvolňováním mikro-částic, a proto opět ovlivňuje čistotu povrchu oplatky a ovlivňuje čistotu čisté místnosti.

Semicorex je zaměřen na navrhování a výrobu lodí SIC destiček, které používají nejvyšší možnou čistotu surovin kombinované s mřířkou atmosféry s nízkou kontaminací.  Snažíme se udržovat nízkou úroveň nečistot, udržovat pórovitost při nízké hodnotě a jednotnou mikrostrukturu, takže práce týmu může pravidelně užívat konzistentní tepelné vlastnosti, přesné mezery oplatky a bezkonkurenční odolnost proti chemické degradaci.

Semicorex sicoplatkové lodějsou nezbytným prvkem zpracování polovodičů s vysokou teplotou. Vysoce čisté křemíkové karbidní destičky mají bezkonkurenční vlastnosti materiálu, excelenci z techniky a temperament bez kontaminace, což z nich činí vysokou úrovní pro vysoce výkonnou výrobu oplatky. Semicorex poskytuje spolehlivost a inovativní vysoký výkon na podporu vašich nejvíce kritických polovodičových procesů.