Vakuové sklíčidlo na oplatky

Ultračisté keramické komponenty Semicorex, ideální pro litografii nové generace a aplikace pro manipulaci s destičkami, zajišťují minimální kontaminaci a poskytují výjimečně dlouhou životnost. Naše vakuové sklíčidlo na oplatky má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex ultra-ploché keramické Wafer Vacuum Chuck je vysoce čistý SiC povlak, který se používá v procesu manipulace s plátky. Vakuové sklíčidlo pro polovodičové destičky od zařízení MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí a zlepšuje řízení výnosů pro zpracování polovodičových destiček. Konfigurace s nízkým povrchovým kontaktem minimalizují riziko částic na zadní straně pro citlivé aplikace.

Ve společnosti Semicorex se zaměřujeme na poskytování vysoce kvalitních a cenově výhodných vakuových sklíčidel na destičky, upřednostňujeme spokojenost zákazníků a poskytujeme cenově efektivní řešení. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem, který bude dodávat vysoce kvalitní produkty a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry Wafer Vacuum Chuck

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300