MOCVD Krycí hvězdicová kotoučová deska pro waferovou epitaxi

Semicorex je renomovaným výrobcem a dodavatelem vysoce kvalitní desky MOCVD Cover Star Disc Plate pro waferovou epitaxi. Náš produkt je speciálně navržen tak, aby vyhovoval potřebám polovodičového průmyslu, zejména při růstu epitaxní vrstvy na waferovém čipu. Náš susceptor se používá jako středová deska v MOCVD s ozubeným nebo prstencovým designem. Výrobek je vysoce odolný vůči vysokým teplotám a korozi, takže je ideální pro použití v extrémních prostředích.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Naše destička MOCVD Cover Star Disc Plate pro oplatkovou epitaxi je vynikajícím produktem, který zajišťuje povlak na celém povrchu, čímž zabraňuje odlupování. Má odolnost proti vysokoteplotní oxidaci, která zajišťuje stabilitu i při vysokých teplotách až 1600 °C. Produkt je vyroben s vysokou čistotou prostřednictvím chemického nanášení par CVD za podmínek vysokoteplotní chlorace. Má hustý povrch s jemnými částicemi, díky čemuž je vysoce odolný vůči korozi kyselin, zásad, solí a organických činidel.
Naše krycí hvězdicová kotoučová deska MOCVD pro waferovou epitaxi zaručuje nejlepší laminární proudění plynu a zajišťuje rovnoměrnost tepelného profilu. Zabraňuje jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu. Náš produkt má konkurenceschopnou cenu, díky čemuž je dostupný mnoha zákazníkům. Pokrýváme mnoho evropských a amerických trhů a náš tým se věnuje poskytování vynikajících zákaznických služeb a podpory. Snažíme se stát se vaším dlouhodobým partnerem při poskytování vysoce kvalitní a spolehlivé desky MOCVD Cover Star Disc pro epitaxi destiček.

Parametry MOCVD krycí hvězdicové kotoučové desky pro waferovou epitaxi

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti MOCVD Cover Star Disc Plate pro waferovou epitaxi

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot