Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor pro MOCVD

Semicorex je důvěryhodný dodavatel a výrobce grafitových susceptorů s povlakem karbidu křemíku pro MOCVD. Náš produkt je speciálně navržen tak, aby vyhovoval potřebám polovodičového průmyslu při růstu epitaxní vrstvy na waferovém čipu. Výrobek se používá jako středová deska v MOCVD s ozubeným nebo prstencovým designem. Má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, takže je ideální pro použití v extrémních prostředích.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Náš grafitový susceptor z karbidu křemíku pro MOCVD má několik klíčových vlastností, díky kterým se odlišuje od konkurence. Zajišťuje povlak na celém povrchu, zabraňuje odlupování a má odolnost proti vysokoteplotní oxidaci, která zajišťuje stabilitu i při vysokých teplotách až 1600 °C. Produkt je vyroben s vysokou čistotou prostřednictvím chemického nanášení par CVD za podmínek vysokoteplotní chlorace. Má hustý povrch s jemnými částicemi, díky čemuž je vysoce odolný vůči korozi kyselin, zásad, solí a organických činidel.
Náš grafitový susceptor s povlakem z karbidu křemíku pro MOCVD je navržen tak, aby dosáhl nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. Zabraňuje jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.

Parametry grafitového susceptoru s povlakem karbidu křemíku pro MOCVD

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptoru s povlakem karbidu křemíku pro MOCVD

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot