Grafitová satelitní platforma MOCVD s povlakem SiC

Semicorex je renomovaným dodavatelem a výrobcem satelitní platformy MOCVD s povlakem SiC. Náš produkt je speciálně navržen tak, aby vyhovoval potřebám polovodičového průmyslu při růstu epitaxní vrstvy na waferovém čipu. Výrobek se používá jako středová deska v MOCVD s ozubeným nebo prstencovým designem. Má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, takže je ideální pro použití v extrémních prostředích.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Jednou z nejvýznamnějších vlastností naší satelitní platformy SiC Coated MOCVD Graphite Satellite je její schopnost zajistit povlak na celém povrchu, aniž by došlo k odlupování. Má odolnost proti vysokoteplotní oxidaci a zajišťuje stabilitu i při vysokých teplotách až 1600 °C. Produkt je vyroben s vysokou čistotou prostřednictvím chemického nanášení par CVD za podmínek vysokoteplotní chlorace. Má hustý povrch s jemnými částicemi, díky čemuž je vysoce odolný vůči korozi kyselin, zásad, solí a organických činidel.
Naše grafitová satelitní platforma MOCVD s povlakem SiC je navržena tak, aby zaručovala nejlepší laminární proudění plynu a zajistila rovnoměrnost tepelného profilu. Zabraňuje jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu. Nabízíme konkurenceschopné ceny našeho produktu, díky čemuž je dostupný mnoha zákazníkům. Náš tým se věnuje poskytování vynikajících zákaznických služeb a podpory. Pokrýváme mnoho evropských a amerických trhů a snažíme se stát se vaším dlouhodobým partnerem při poskytování vysoce kvalitní a spolehlivé platformy SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platform. Kontaktujte nás ještě dnes a dozvíte se více o našem produktu.

Parametry SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platform

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti satelitní platformy MOCVD Graphite s povlakem SiC

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot