Susceptor MOCVD pro epitaxní růst

Semicorex je předním dodavatelem a výrobcem MOCVD susceptoru pro epitaxní růst. Náš produkt je široce používán v polovodičovém průmyslu, zejména při růstu epitaxní vrstvy na waferovém čipu. Náš susceptor je navržen pro použití jako středová deska v MOCVD s ozubeným nebo prstencovým designem. Výrobek má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, díky čemuž je stabilní v extrémních prostředích.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Jednou z výhod našeho MOCVD susceptoru pro epitaxní růst je jeho schopnost zajistit povlak na celém povrchu, aniž by došlo k odlupování. Výrobek má odolnost proti vysokoteplotní oxidaci, která zajišťuje stabilitu při vysokých teplotách až do 1600°C. Vysoké čistoty našeho produktu je dosaženo pomocí CVD chemické depozice z par za podmínek vysokoteplotní chlorace. Hustý povrch s jemnými částicemi zajišťuje, že produkt je vysoce odolný vůči korozi kyselin, zásad, solí a organických činidel.
Náš MOCVD susceptor pro epitaxní růst je navržen tak, aby dosáhl nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.
Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem MOCVD susceptoru pro epitaxní růst.

Parametry MOCVD susceptoru pro epitaxní růst

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti MOCVD susceptoru pro epitaxní růst

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot