Monokrystalický křemíkový planární terč

Monokrystalický křemíkrovinný terč je obvykle zpracováván vysoce přesným řezným zařízením z monokrystalických křemíkových ingotů vyrobených Czochralského metodou. Pro splnění diverzifikace potřeb zákazníků lze monokrystalický křemíkový planární terč řezat do požadovaných tvarů pro vaše vážené zákazníky. Přesná technologie broušení a leštění zajišťuje vynikající rovinnost povrchu cílového materiálu a poskytuje silnou záruku na nanášení tenkých vrstev.

Monokrystalický křemíkový planární terč je umístěn uvnitř vakuové reakční komory spolu se substrátem, který má být potažen během procesu nanášení filmu. Když je monokrystalický křemíkový planární terč bombardován vysokoenergetickými ionty, atomy křemíku na jeho povrchu jsou rozprášeny. Tyto naprašované atomy křemíku pak migrují a ukládají se na povrch substrátu, případně tvoří tenký křemíkový film.

Monokrystalický křemíkový planární terč slouží jako materiálový zdroj pro nanášení tenkých vrstev. Všechny atomy křemíku uložené na povrchu destičky pocházejí z monokrystalických křemíkových planárních terčů. Kvalita monokrystalického křemíkového planárního terče tedy přímo určuje čistotu, jednotnost a další klíčové vlastnosti naneseného tenkého filmu.

Vynikající charakteristika čistoty propůjčuje monokrystalickému křemíkovému planárnímu terči schopnost zabránit nečistotám v kontaminaci tenkého filmu. To výrazně zlepšuje elektrický výkon polovodičových součástek. Zlepšení stejnoměrnosti a adheze tenkých filmů těží z jeho vysoce uspořádané krystalové struktury, která umožňuje naprašovacím částicím migrovat a ukládat se na povrchu destičky pravidelněji. Konstrukce planární struktury je vhodná pro požadavky na velkoplošné a vysokorychlostní naprašování a je použitelná pro scénáře výroby ve velkém měřítku, jako jsou polovodičové destičky a zobrazovací panely.