Silikonový ochranný kroužek

Semicorex Silicon Shield Ring je kritická polovodičová součástka v procesu leptání. Jeho primární funkcí je obklopit elektrodu a zabránit nadměrnému úniku plazmy. S čistotou materiálu převyšující 9N (99,9999999 %) může být stínící prstenec vyroben z monokrystalu i multikrystalukřemík, zajišťující ultra čistý provoz a spolehlivou kompatibilitu s pokročilými procesy výroby polovodičů.

Přesná kontrola plazmatu v procesu leptání CCP/ICP je nezbytná pro efektivní, jednotnou rychlost leptání a kvalitu plátků. Nekontrolovaný únik plazmy mimo požadovanou oblast leptání by mohl způsobit povrchovou erozi a kontaminaci nebo poškodit součásti uvnitř komory. Silikonový stínící kroužek je účinným a jednoduchým řešením tohoto problému, vytvořený tak, aby tvořil ochrannou bariéru na vnějším obvodu elektrody, zadržoval plazmu před šířením mimo cílovou oblast a omezoval leptání pouze na požadovanou oblast. Silikonový stínící kroužek také působí jako vnější elektroda pro stabilizaci distribuce plazmatu a umožňuje rovnoměrnější energii na povrchu plátku.

Tepelné a elektrické vlastnosti křemíku dále podporují výkon Etching Shield Ring. Jeho odolnost vůči vysokým procesním teplotám zajišťuje strukturální integritu během dlouhodobého vystavení plazmě a jeho elektrická vodivost umožňuje komponentě správně fungovat jako prvek v elektrodovém systému. Společně tyto aplikace zlepšují zadržování plazmatu a zlepšují rovnoměrnost energie, což umožňuje opakovatelné profily leptání napříč wafery.

Mechanická tolerance je další pozoruhodnou vlastností křemíkového leptacího štítového prstence. Tím, že je vyroben v úzkých tolerancích, zajišťuje přesné umístění kolem elektrody a zachovává rozteč a geometrii komory. Tato mechanická přesnost vytváří opakovatelné procesní podmínky pro menší variabilitu mezi jednotlivými běhy a pomáhá umožnit velkoobjemovou výrobu polovodičů. Samotný materiál má vynikající kompatibilitu s plazmovým prostředím; proto erodování jeho struktury umožňuje typicky poskytovat dlouhou životnost a stabilitu ve výkonnosti procesu.

Trvanlivost a nákladová efektivita jsou dvě cennější výhody. Odstíněním nepotřebných částí komory před plazmou, stínící kroužek snižuje opotřebení dalších kritických součástí, což snižuje nároky na údržbu a zvyšuje celkovou provozní dobu provozu. Dlouhá životnost a méně častá výměna z něj činí nákladově efektivní řešení pro polovodičové závody pro zvýšení produktivity a tím snížení provozních nákladů.

TheKřemíkstínící kroužek lze také přizpůsobit pro každou konfiguraci nástroje a specifikaci procesu, protože jsou k dispozici v několika velikostech a geometriích, aby vyhovovaly mnoha různým plazmovým leptacím komorám, které výrobci vyrábějí, a přitom stále dosahují optimálního přizpůsobení. Navíc lze povrchové úpravy a leštění využít k dalšímu snížení tvorby částic pro ultračisté výrobní standardy.